(Bi,Yb)4Ti3O12薄膜退火研究
(Bi,Yb)4Ti3O12박막퇴화연구
Study to the Effect of Annealing Temperature on(Bi,Yb)4Ti3O12 Thin Films
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2007年 3期 234-237 ,共4页

    成传品%唐明华%叶志%周益春%郑学军

    성전품%당명화%협지%주익춘%정학군

    溶胶-凝胶%BYT铁电薄膜%退火温度%铁电性 溶膠-凝膠%BYT鐵電薄膜%退火溫度%鐵電性
    용효-응효%BYT철전박막%퇴화온도%철전성
    采用溶胶-凝胶旋涂法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地沉积出(Bi,Yb)4Ti3O12[Bi3.4Ybo.6Ti3O12,BYT]铁电薄膜.系统地研究了退火温度对BYT铁电薄膜的晶体结构、表面形貌以及铁电性能(剩余极化强度)的影响.揭示了退火温度对BYT薄膜的晶体结构、表面形貌以及铁电性能有着明显的影响,给出了最佳退火温度为700℃左右.
    채용용효-응효선도법재Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)기저상성공지침적출(Bi,Yb)4Ti3O12[Bi3.4Ybo.6Ti3O12,BYT]철전박막.계통지연구료퇴화온도대BYT철전박막적정체결구、표면형모이급철전성능(잉여겁화강도)적영향.게시료퇴화온도대BYT박막적정체결구、표면형모이급철전성능유착명현적영향,급출료최가퇴화온도위700℃좌우.
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