襄樊学院学报
襄樊學院學報
양번학원학보
JOURNAL OF XIANGFAN UNIVERSITY
2007年
5期
20-23
,共4页
溶胶-凝胶法%ZnO薄膜%晶体结构%光致发光
溶膠-凝膠法%ZnO薄膜%晶體結構%光緻髮光
용효-응효법%ZnO박막%정체결구%광치발광
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)旋涂法在Si(100)衬底上制备ZnO薄膜,在室温下利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、光致发光谱(PL)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和发光特性. 结果表明:当热分解温度为400℃,晶化温度为450℃～650℃时,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜样品属六方纤锌矿结构,ZnO薄膜呈现沿各个晶面自由生长的特性;在室温下均有较强的紫外带边发射峰,这表明带间跃迁占了主导地位,与缺陷有关的可见发射带很弱. 以上结果说明:溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜质量较高.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)鏇塗法在Si(100)襯底上製備ZnO薄膜,在室溫下利用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、光緻髮光譜(PL)等手段分析所得ZnO薄膜的晶體結構和髮光特性. 結果錶明:噹熱分解溫度為400℃,晶化溫度為450℃～650℃時,溶膠-凝膠鏇塗法製備的ZnO薄膜樣品屬六方纖鋅礦結構,ZnO薄膜呈現沿各箇晶麵自由生長的特性;在室溫下均有較彊的紫外帶邊髮射峰,這錶明帶間躍遷佔瞭主導地位,與缺陷有關的可見髮射帶很弱. 以上結果說明:溶膠-凝膠法製備的ZnO薄膜質量較高.
채용용효-응효(Sol-Gel)선도법재Si(100)츤저상제비ZnO박막,재실온하이용X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)、광치발광보(PL)등수단분석소득ZnO박막적정체결구화발광특성. 결과표명:당열분해온도위400℃,정화온도위450℃～650℃시,용효-응효선도법제비적ZnO박막양품속륙방섬자광결구,ZnO박막정현연각개정면자유생장적특성;재실온하균유교강적자외대변발사봉,저표명대간약천점료주도지위,여결함유관적가견발사대흔약. 이상결과설명:용효-응효법제비적ZnO박막질량교고.
