信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2009年
5期
47-52
,共6页
紫外纳米压印抗蚀剂%纳米压印技术(NIL)%丙烯酸酯%环氧树脂%乙烯基醚
紫外納米壓印抗蝕劑%納米壓印技術(NIL)%丙烯痠酯%環氧樹脂%乙烯基醚
자외납미압인항식제%납미압인기술(NIL)%병희산지%배양수지%을희기미
本文介绍了纳米压印技术的基本原理.总结了紫外纳米压印抗蚀剂的种类以及组分.具体包括丙烯酸酯体系、环氧树脂体系和乙烯基醚体系的配方组成及单体合成方法.比较了各个体系的优缺点.本文还分析了目前国内纳米压印抗蚀剂的研究现状并对其研究方向进行了分析与展望.
本文介紹瞭納米壓印技術的基本原理.總結瞭紫外納米壓印抗蝕劑的種類以及組分.具體包括丙烯痠酯體繫、環氧樹脂體繫和乙烯基醚體繫的配方組成及單體閤成方法.比較瞭各箇體繫的優缺點.本文還分析瞭目前國內納米壓印抗蝕劑的研究現狀併對其研究方嚮進行瞭分析與展望.
본문개소료납미압인기술적기본원리.총결료자외납미압인항식제적충류이급조분.구체포괄병희산지체계、배양수지체계화을희기미체계적배방조성급단체합성방법.비교료각개체계적우결점.본문환분석료목전국내납미압인항식제적연구현상병대기연구방향진행료분석여전망.
