金属材料与冶金工程
金屬材料與冶金工程
금속재료여야금공정
METAL MATERIALS AND METALLURGY ENGINEERING
2011年
4期
44-49
,共6页
磁控溅射%靶材%现状%发展趋势
磁控濺射%靶材%現狀%髮展趨勢
자공천사%파재%현상%발전추세
近年来,随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金靶材的需求也愈来愈大.据此,介绍了磁控溅射靶材的种类、应用及制备情况,指出了目前靶材亟待解决的几个重大问题,并对靶材的发展趋势进行了探讨和展望.
近年來,隨著磁控濺射技術的應用日趨廣汎,對各種高純金屬及閤金靶材的需求也愈來愈大.據此,介紹瞭磁控濺射靶材的種類、應用及製備情況,指齣瞭目前靶材亟待解決的幾箇重大問題,併對靶材的髮展趨勢進行瞭探討和展望.
근년래,수착자공천사기술적응용일추엄범,대각충고순금속급합금파재적수구야유래유대.거차,개소료자공천사파재적충류、응용급제비정황,지출료목전파재극대해결적궤개중대문제,병대파재적발전추세진행료탐토화전망.
