强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
8期
2106-2110
,共5页
陈上碧%盛斌%邱克强%刘正坤%徐向东%刘颖%洪义麟%付绍军
陳上碧%盛斌%邱剋彊%劉正坤%徐嚮東%劉穎%洪義麟%付紹軍
진상벽%성빈%구극강%류정곤%서향동%류영%홍의린%부소군
多层介质膜脉宽压缩光栅%污染物%Piranha溶液%扫描电子显微镜%X射线光电子能谱
多層介質膜脈寬壓縮光柵%汙染物%Piranha溶液%掃描電子顯微鏡%X射線光電子能譜
다층개질막맥관압축광책%오염물%Piranha용액%소묘전자현미경%X사선광전자능보
为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金属氟化物.对Piranha溶液的清洗温度、组成成分、清洗时间、清洗遍数等参数进行了系统研究,用扫描电子显微镜(SEM)观察清洗前后的PCG表面形貌,用X射线光电子能谱仪(XPS)检测清洗前后PCG表面的元素成分及其原子分数的变化,并分析了各残留污染物的去除机理.实验结果表明:Piranha溶液能有效去除PCG表面污染物,而且清洗温度越高,清洗遍数越多,对PCG表面残留污染物的去除效果越显著.在90℃下60 min有效活性时间内,使用浓硫酸和双氧水体积比为2:1的Piranha溶液清洗3遍以上,PCG表面残留的F元素的原子分数接近0.1％(XPS的分辨极限),达到良好的清洗效果.
為瞭提高HfO2頂層多層介質膜脈寬壓縮光柵(PCG)的抗激光損傷性能,使用Piranha溶液(濃硫痠和雙氧水的混閤液)清洗PCG去除其製作工藝和使用過程中殘留在錶麵的汙染物,包括CHF3作為工作氣體對HfO2進行反應離子束刻蝕生成的碳氟化閤物及金屬氟化物.對Piranha溶液的清洗溫度、組成成分、清洗時間、清洗遍數等參數進行瞭繫統研究,用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察清洗前後的PCG錶麵形貌,用X射線光電子能譜儀(XPS)檢測清洗前後PCG錶麵的元素成分及其原子分數的變化,併分析瞭各殘留汙染物的去除機理.實驗結果錶明:Piranha溶液能有效去除PCG錶麵汙染物,而且清洗溫度越高,清洗遍數越多,對PCG錶麵殘留汙染物的去除效果越顯著.在90℃下60 min有效活性時間內,使用濃硫痠和雙氧水體積比為2:1的Piranha溶液清洗3遍以上,PCG錶麵殘留的F元素的原子分數接近0.1％(XPS的分辨極限),達到良好的清洗效果.
위료제고HfO2정층다층개질막맥관압축광책(PCG)적항격광손상성능,사용Piranha용액(농류산화쌍양수적혼합액)청세PCG거제기제작공예화사용과정중잔류재표면적오염물,포괄CHF3작위공작기체대HfO2진행반응리자속각식생성적탄불화합물급금속불화물.대Piranha용액적청세온도、조성성분、청세시간、청세편수등삼수진행료계통연구,용소묘전자현미경(SEM)관찰청세전후적PCG표면형모,용X사선광전자능보의(XPS)검측청세전후PCG표면적원소성분급기원자분수적변화,병분석료각잔류오염물적거제궤리.실험결과표명:Piranha용액능유효거제PCG표면오염물,이차청세온도월고,청세편수월다,대PCG표면잔류오염물적거제효과월현저.재90℃하60 min유효활성시간내,사용농류산화쌍양수체적비위2:1적Piranha용액청세3편이상,PCG표면잔류적F원소적원자분수접근0.1％(XPS적분변겁한),체도량호적청세효과.
