微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
11期
720-724
,共5页
微机电系统(MEMS)%疲劳损伤%晶胞%细观力学%微梁
微機電繫統(MEMS)%疲勞損傷%晶胞%細觀力學%微樑
미궤전계통(MEMS)%피로손상%정포%세관역학%미량
在微机电系统(MEMS)中,影响多晶体微梁构件疲劳损伤的因素很多,如载荷方式、晶粒尺寸及其内部空间滑移系等.重点是从多晶铜微梁构件的微观结构入手,分析引起微构件疲劳损伤的内在应力机制.首先由两个取向分别为[110]和[100]的多晶铜晶粒构造一定厚度微梁模型,运用细观力学方法分析微梁在外载作用下,其内部晶粒的多个晶胞中主要晶体学滑移方向上的应力应变状态及其定量表达；在此基础上,确定多晶铜微梁构件内部晶粒晶体学取向角度对其晶胞内滑移系驱动分切应力的影响规律,并初步分析了多晶材料微梁内部晶粒的几何排布对微梁构件损伤力学行为的影响.
在微機電繫統(MEMS)中,影響多晶體微樑構件疲勞損傷的因素很多,如載荷方式、晶粒呎吋及其內部空間滑移繫等.重點是從多晶銅微樑構件的微觀結構入手,分析引起微構件疲勞損傷的內在應力機製.首先由兩箇取嚮分彆為[110]和[100]的多晶銅晶粒構造一定厚度微樑模型,運用細觀力學方法分析微樑在外載作用下,其內部晶粒的多箇晶胞中主要晶體學滑移方嚮上的應力應變狀態及其定量錶達；在此基礎上,確定多晶銅微樑構件內部晶粒晶體學取嚮角度對其晶胞內滑移繫驅動分切應力的影響規律,併初步分析瞭多晶材料微樑內部晶粒的幾何排佈對微樑構件損傷力學行為的影響.
재미궤전계통(MEMS)중,영향다정체미량구건피로손상적인소흔다,여재하방식、정립척촌급기내부공간활이계등.중점시종다정동미량구건적미관결구입수,분석인기미구건피로손상적내재응력궤제.수선유량개취향분별위[110]화[100]적다정동정립구조일정후도미량모형,운용세관역학방법분석미량재외재작용하,기내부정립적다개정포중주요정체학활이방향상적응력응변상태급기정량표체；재차기출상,학정다정동미량구건내부정립정체학취향각도대기정포내활이계구동분절응력적영향규률,병초보분석료다정재료미량내부정립적궤하배포대미량구건손상역학행위적영향.
