中国科学院院刊
中國科學院院刊
중국과학원원간
BULLETIN OF THE CHINESE ACADEMY OF SCIENCES
2003年
1期
14-19
,共6页
封松林%王渭源%王跃林%刘海涛%祝向荣
封鬆林%王渭源%王躍林%劉海濤%祝嚮榮
봉송림%왕위원%왕약림%류해도%축향영
微系统%进展%产业化%发展战略
微繫統%進展%產業化%髮展戰略
미계통%진전%산업화%발전전략
微系统是指集成了微电子和微机械(或光学、化学、生物等方面的微元件)的系统.它以微米尺度理论为基础,用批量化的微电子技术和三维加工技术制造,用以完成信息获取、处理及执行的功能.阐述了国内外微系统技术及其产业发展的历程、现状和趋势,比较分析了我院微系统技术发展现状.基于以上分析讨论,提出了我院微系统发展战略.最后提出了对我院微系统产业发展的思考.
微繫統是指集成瞭微電子和微機械(或光學、化學、生物等方麵的微元件)的繫統.它以微米呎度理論為基礎,用批量化的微電子技術和三維加工技術製造,用以完成信息穫取、處理及執行的功能.闡述瞭國內外微繫統技術及其產業髮展的歷程、現狀和趨勢,比較分析瞭我院微繫統技術髮展現狀.基于以上分析討論,提齣瞭我院微繫統髮展戰略.最後提齣瞭對我院微繫統產業髮展的思攷.
미계통시지집성료미전자화미궤계(혹광학、화학、생물등방면적미원건)적계통.타이미미척도이론위기출,용비양화적미전자기술화삼유가공기술제조,용이완성신식획취、처리급집행적공능.천술료국내외미계통기술급기산업발전적역정、현상화추세,비교분석료아원미계통기술발전현상.기우이상분석토론,제출료아원미계통발전전략.최후제출료대아원미계통산업발전적사고.
