表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2000年
1期
1-5
,共5页
c-BN膜%PVD%CVD
c-BN膜%PVD%CVD
c-BN막%PVD%CVD
介绍了c-BN的优异特性及应用前景.评述了c-BN膜的几种低压物理气相沉积(PVD)和低压化学气相沉积(CVD)制备方法,分析其成膜特点及对c-BN形成有显著影响的工艺参数.介绍了当前c-BN膜研究取得的成果,对如何提高成膜质量提出了自己的一些看法.
介紹瞭c-BN的優異特性及應用前景.評述瞭c-BN膜的幾種低壓物理氣相沉積(PVD)和低壓化學氣相沉積(CVD)製備方法,分析其成膜特點及對c-BN形成有顯著影響的工藝參數.介紹瞭噹前c-BN膜研究取得的成果,對如何提高成膜質量提齣瞭自己的一些看法.
개소료c-BN적우이특성급응용전경.평술료c-BN막적궤충저압물리기상침적(PVD)화저압화학기상침적(CVD)제비방법,분석기성막특점급대c-BN형성유현저영향적공예삼수.개소료당전c-BN막연구취득적성과,대여하제고성막질량제출료자기적일사간법.
