磁性材料及器件
磁性材料及器件
자성재료급기건
JOURNAL OF MAGNETIC MATERIALS AND DEVICES
2005年
1期
14-16
,共3页
张亚民%陈吉安%周勇%丁文%王明军%高孝裕%周志敏
張亞民%陳吉安%週勇%丁文%王明軍%高孝裕%週誌敏
장아민%진길안%주용%정문%왕명군%고효유%주지민
FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB三明治薄膜%巨磁阻抗%弯曲型结构%微细加工
FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB三明治薄膜%巨磁阻抗%彎麯型結構%微細加工
FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB삼명치박막%거자조항%만곡형결구%미세가공
采用射频磁控溅射方法和微细加工工艺制备了不同Cu层宽度的弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗率随Cu层宽度的变化具有显著的变化,在频率10MHz、磁场12kA/m下,当Cu层宽度为0.4mm时,纵向、横向巨磁阻抗率分别达-57%、-65%.
採用射頻磁控濺射方法和微細加工工藝製備瞭不同Cu層寬度的彎麯型三明治結構的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多層膜,在頻率1～40MHz下研究瞭Cu層寬度對多層膜的縱嚮和橫嚮巨磁阻抗效應的影響.結果錶明,彎麯型三明治結構多層膜的巨磁阻抗率隨Cu層寬度的變化具有顯著的變化,在頻率10MHz、磁場12kA/m下,噹Cu層寬度為0.4mm時,縱嚮、橫嚮巨磁阻抗率分彆達-57%、-65%.
채용사빈자공천사방법화미세가공공예제비료불동Cu층관도적만곡형삼명치결구적FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB다층막,재빈솔1～40MHz하연구료Cu층관도대다층막적종향화횡향거자조항효응적영향.결과표명,만곡형삼명치결구다층막적거자조항솔수Cu층관도적변화구유현저적변화,재빈솔10MHz、자장12kA/m하,당Cu층관도위0.4mm시,종향、횡향거자조항솔분별체-57%、-65%.
