功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
2期
452-456
,共5页
许东华%张兆华%林惠旺%刘理天%任天令
許東華%張兆華%林惠旺%劉理天%任天令
허동화%장조화%림혜왕%류리천%임천령
硅一玻璃%阳极键合%压力传感器%残余应力
硅一玻璃%暘極鍵閤%壓力傳感器%殘餘應力
규일파리%양겁건합%압력전감기%잔여응력
硅玻璃阳极键合技术因键合强度高,工艺简单而成为低成本绝压压力传感器的主要封装技术.但由于常规的硅玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行且材料之间不可避免的热膨胀系数失配将产生较大的残余应力.实验采用有限元方法对硅玻璃阳极键合进行了系统的力学分析以减小残余应力对器件性能的影响.实验中采用硅玻璃阳极键合技术制备了不同压敏膜厚度和尺寸的传感器并测试其曲率与零点以对残余应力进行分析验证.
硅玻璃暘極鍵閤技術因鍵閤彊度高,工藝簡單而成為低成本絕壓壓力傳感器的主要封裝技術.但由于常規的硅玻璃暘極鍵閤需要在相對較高的溫度下進行且材料之間不可避免的熱膨脹繫數失配將產生較大的殘餘應力.實驗採用有限元方法對硅玻璃暘極鍵閤進行瞭繫統的力學分析以減小殘餘應力對器件性能的影響.實驗中採用硅玻璃暘極鍵閤技術製備瞭不同壓敏膜厚度和呎吋的傳感器併測試其麯率與零點以對殘餘應力進行分析驗證.
규파리양겁건합기술인건합강도고,공예간단이성위저성본절압압력전감기적주요봉장기술.단유우상규적규파리양겁건합수요재상대교고적온도하진행차재료지간불가피면적열팽창계수실배장산생교대적잔여응력.실험채용유한원방법대규파리양겁건합진행료계통적역학분석이감소잔여응력대기건성능적영향.실험중채용규파리양겁건합기술제비료불동압민막후도화척촌적전감기병측시기곡솔여영점이대잔여응력진행분석험증.
