仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2011年
5期
1138-1144
,共7页
许琦欣%侯文玫%盛世杰%张运波%沈丽艳
許琦訢%侯文玫%盛世傑%張運波%瀋麗豔
허기흔%후문매%성세걸%장운파%침려염
三维测量%数字微镜器件%虚拟针孔
三維測量%數字微鏡器件%虛擬針孔
삼유측량%수자미경기건%허의침공
研究提出了一种基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的并行三维微-纳米轮廓测量方法.该方法将数字微镜器件与共焦测量方法相结合,用数字微镜器件及其控制器替代了传统共焦测量中的照明针孔和横向扫描机构,充分发挥DMD横向分辨率高,响应速度快,数字化以及便于计算机控制的优点,对传统共焦测量方法进行了结构上的改进,大大提高其扫描速度.一系列实验结果表明,数字微镜器件可以完全替代照明针孔,从而实现对样品表面快速,精确,大范围的三维测量.
研究提齣瞭一種基于數字微鏡器件(digital micromirror device,DMD)的併行三維微-納米輪廓測量方法.該方法將數字微鏡器件與共焦測量方法相結閤,用數字微鏡器件及其控製器替代瞭傳統共焦測量中的照明針孔和橫嚮掃描機構,充分髮揮DMD橫嚮分辨率高,響應速度快,數字化以及便于計算機控製的優點,對傳統共焦測量方法進行瞭結構上的改進,大大提高其掃描速度.一繫列實驗結果錶明,數字微鏡器件可以完全替代照明針孔,從而實現對樣品錶麵快速,精確,大範圍的三維測量.
연구제출료일충기우수자미경기건(digital micromirror device,DMD)적병행삼유미-납미륜곽측량방법.해방법장수자미경기건여공초측량방법상결합,용수자미경기건급기공제기체대료전통공초측량중적조명침공화횡향소묘궤구,충분발휘DMD횡향분변솔고,향응속도쾌,수자화이급편우계산궤공제적우점,대전통공초측량방법진행료결구상적개진,대대제고기소묘속도.일계렬실험결과표명,수자미경기건가이완전체대조명침공,종이실현대양품표면쾌속,정학,대범위적삼유측량.
