强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
6期
1385-1390
,共6页
激光预处理%缺陷%能量覆盖%高反射膜
激光預處理%缺陷%能量覆蓋%高反射膜
격광예처리%결함%능량복개%고반사막
分析了不同预处理方式下缺陷上的激光能量的覆盖特点.理论分析表明,相同预处理效率下,单步预处理缺陷上激光能量覆盖率优于多步预处理.实验研究了电子束蒸发制备的HfO2/SiO2多层高反膜的激光预处理,结果发现单步预处理后薄膜的单脉冲激光损伤阈值比相同效率的4步预处理后薄膜的单脉冲激光损伤阈值要好.采用最高能量密度为112％激光损伤阈值的5步预处理后,光学薄膜的激光损伤阈值提高了83.5％.
分析瞭不同預處理方式下缺陷上的激光能量的覆蓋特點.理論分析錶明,相同預處理效率下,單步預處理缺陷上激光能量覆蓋率優于多步預處理.實驗研究瞭電子束蒸髮製備的HfO2/SiO2多層高反膜的激光預處理,結果髮現單步預處理後薄膜的單脈遲激光損傷閾值比相同效率的4步預處理後薄膜的單脈遲激光損傷閾值要好.採用最高能量密度為112％激光損傷閾值的5步預處理後,光學薄膜的激光損傷閾值提高瞭83.5％.
분석료불동예처리방식하결함상적격광능량적복개특점.이론분석표명,상동예처리효솔하,단보예처리결함상격광능량복개솔우우다보예처리.실험연구료전자속증발제비적HfO2/SiO2다층고반막적격광예처리,결과발현단보예처리후박막적단맥충격광손상역치비상동효솔적4보예처리후박막적단맥충격광손상역치요호.채용최고능량밀도위112％격광손상역치적5보예처리후,광학박막적격광손상역치제고료83.5％.
