大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀
대척촌연사광학원건적소묘리자속각식
Ion beam etching of large aperture diffractive optical elements
  • 万方数据
    光学精密工程 광학정밀공정
    OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
    2012年 8期 1676-1683 ,共8页

    邱克强%周小为%刘颖%徐向东%刘正坤%盛斌%洪义麟%付绍军

    구극강%주소위%류영%서향동%류정곤%성빈%홍의린%부소군

    衍射光学元件%离子束刻蚀%刻蚀深度%在线检测%多层介质膜光栅 衍射光學元件%離子束刻蝕%刻蝕深度%在線檢測%多層介質膜光柵
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    总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展.针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450 mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达±1％.建立了针对多层介质膜光栅的衍射强度一维空间分布在线检测系统以及用于透射衍射光学元件离子束刻蚀深度的等厚干涉在线检测系统,实现了对大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀终点的定量、科学控制,提高了元件离子束刻蚀工艺的成功率.利用上述技术,成功研制出一系列尺寸的多层介质膜光栅、光束采样光栅、色分离光栅以及同步辐射光栅等多种衍射光学元件.
    총결료대척촌연사광학원건리자속각식기술적연구진전.침대자행연제적KZ-400리자속각식장치,제출료조합석묵속란결구화다위치분보각식책략래제고리자속각식심도적균균성,목전재450 mm척촌내적각식심도균균성최고가체±1％.건립료침대다층개질막광책적연사강도일유공간분포재선검측계통이급용우투사연사광학원건리자속각식심도적등후간섭재선검측계통,실현료대대척촌연사광학원건리자속각식종점적정량、과학공제,제고료원건리자속각식공예적성공솔.이용상술기술,성공연제출일계렬척촌적다층개질막광책、광속채양광책、색분리광책이급동보복사광책등다충연사광학원건.
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