与CMOS工艺兼容的硅高速光电探测器模拟与设计
여CMOS공예겸용적규고속광전탐측기모의여설계
Simulation and Design of a CMOS-Process-Compatible High-Speed Si-Photodetector
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2002年 2期 193-197 ,共5页

    毛陆虹%陈弘达%吴荣汉%唐君%梁琨%粘华%郭维廉%李树荣%吴霞宛

    모륙홍%진홍체%오영한%당군%량곤%점화%곽유렴%리수영%오하완

    光电探测器%器件模拟%CMOS工艺 光電探測器%器件模擬%CMOS工藝
    광전탐측기%기건모의%CMOS공예
    用器件模拟的方法,设计了一种与常规CMOS 工艺兼容的硅高速光电探测器,该探测器可与CMOS接收机电路单片集成,对该探测器进行了器件模拟研究,给出了该探测器的电路模型.通过MOSIS(MOS implementation support project) 0.35μm COMS工艺制做了该探测器,实际测试了该器件的频率响应和波长响应,探测器频率响应在1GHz以上,峰值波长响应在0.69μm.
    용기건모의적방법,설계료일충여상규CMOS 공예겸용적규고속광전탐측기,해탐측기가여CMOS접수궤전로단편집성,대해탐측기진행료기건모의연구,급출료해탐측기적전로모형.통과MOSIS(MOS implementation support project) 0.35μm COMS공예제주료해탐측기,실제측시료해기건적빈솔향응화파장향응,탐측기빈솔향응재1GHz이상,봉치파장향응재0.69μm.
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