光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2003年
11期
1362-1365
,共4页
王洪昌%王占山%秦树基%李佛生%陈玲燕%朱杰%崔明启
王洪昌%王佔山%秦樹基%李彿生%陳玲燕%硃傑%崔明啟
왕홍창%왕점산%진수기%리불생%진령연%주걸%최명계
薄膜光学%软X射线%多层膜%界面缺陷%参量估算%拟合
薄膜光學%軟X射線%多層膜%界麵缺陷%參量估算%擬閤
박막광학%연X사선%다층막%계면결함%삼량고산%의합
由于多层膜的表界面粗糙度和材料之间的相互扩散等因素,导致多层膜的实际反射率小于理论计算的反射率,因此,多层膜结构参量的确定对镀膜工艺参量的标定具有重要意义.由于描述单个非理想粗糙界面散射的Stearns法适用于软X射线短波段区域,采用它的数学模型来描述软X射线多层膜的粗糙度,利用最小二乘法曲线拟合法对同步辐射测得的Mo/Si多层膜的反射率曲线进行拟合,得到了非常好的拟合结果,从而确定了多层膜结构参量,同时分析了多层膜周期厚度,厚度比率,界面宽度以及仪器光谱分辨率对多层膜反射特性的影响,这些工作都为镀膜工艺改进提供了一定的理论依据.
由于多層膜的錶界麵粗糙度和材料之間的相互擴散等因素,導緻多層膜的實際反射率小于理論計算的反射率,因此,多層膜結構參量的確定對鍍膜工藝參量的標定具有重要意義.由于描述單箇非理想粗糙界麵散射的Stearns法適用于軟X射線短波段區域,採用它的數學模型來描述軟X射線多層膜的粗糙度,利用最小二乘法麯線擬閤法對同步輻射測得的Mo/Si多層膜的反射率麯線進行擬閤,得到瞭非常好的擬閤結果,從而確定瞭多層膜結構參量,同時分析瞭多層膜週期厚度,厚度比率,界麵寬度以及儀器光譜分辨率對多層膜反射特性的影響,這些工作都為鍍膜工藝改進提供瞭一定的理論依據.
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