半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2005年
1期
10-13
,共4页
刘爽%杨亚培%刘永智%李华高
劉爽%楊亞培%劉永智%李華高
류상%양아배%류영지%리화고
非致冷红外探测%Ti微测辐射热计%热导%填充因子%噪声
非緻冷紅外探測%Ti微測輻射熱計%熱導%填充因子%譟聲
비치랭홍외탐측%Ti미측복사열계%열도%전충인자%조성
Ti微测辐射热计具有高电阻温度系数、低噪声和与IC工艺兼容性好等特点,在非致冷红外图像系统等应用领域越来越受到关注.文章通过理论分析指出,降低热导、提高填充因子和降低噪声是该种器件形成和使用中的关键技术,给出了相关技术的研究状况.
Ti微測輻射熱計具有高電阻溫度繫數、低譟聲和與IC工藝兼容性好等特點,在非緻冷紅外圖像繫統等應用領域越來越受到關註.文章通過理論分析指齣,降低熱導、提高填充因子和降低譟聲是該種器件形成和使用中的關鍵技術,給齣瞭相關技術的研究狀況.
Ti미측복사열계구유고전조온도계수、저조성화여IC공예겸용성호등특점,재비치랭홍외도상계통등응용영역월래월수도관주.문장통과이론분석지출,강저열도、제고전충인자화강저조성시해충기건형성화사용중적관건기술,급출료상관기술적연구상황.
