快速热化学沉积工艺条件对制备多晶硅薄膜的影响
쾌속열화학침적공예조건대제비다정규박막적영향
Effect of Technical Condition in RTCVD on Deposed Poly-Si Thin-Film
  • 万方数据
    稀有金属材料与工程 희유금속재료여공정
    RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
    2005年 z2期 1149-1151 ,共3页

    万之坚%李海峰%黄勇%张厚兴%张立明%许颖%王文静

    만지견%리해봉%황용%장후흥%장립명%허영%왕문정

    太阳电池%多晶硅薄膜%快速热化学气相沉积 太暘電池%多晶硅薄膜%快速熱化學氣相沉積
    태양전지%다정규박막%쾌속열화학기상침적
    选用Al2O3陶瓷作为衬底,采用快速热化学法沉积多晶硅薄膜.实验研究了温度对薄膜生长的影响,结果表明,硅层的沉积速率随着温度升高而加快,并逐渐趋向1个稳定值.晶粒尺寸也随着温度升高而增大,在温度达到1000℃后保持不变.在此硅薄膜上,采用磷扩散掺杂,制备出太阳能电池器件,并且分析了掺杂量对电池效果的影响.
    선용Al2O3도자작위츤저,채용쾌속열화학법침적다정규박막.실험연구료온도대박막생장적영향,결과표명,규층적침적속솔수착온도승고이가쾌,병축점추향1개은정치.정립척촌야수착온도승고이증대,재온도체도1000℃후보지불변.재차규박막상,채용린확산참잡,제비출태양능전지기건,병차분석료참잡량대전지효과적영향.
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