河南师范大学学报(自然科学版)
河南師範大學學報(自然科學版)
하남사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF HENAN NORMAL UNIVERSITY
2006年
3期
99-102
,共4页
碳纳米尖端%离子轰击%化学气相沉积
碳納米尖耑%離子轟擊%化學氣相沉積
탄납미첨단%리자굉격%화학기상침적
用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si上制备了碳纳米尖端.用扫描电子显微镜、原子力显微镜和Raman光谱表征了碳膜的结构,以及用扫描电子显微镜和X射线光电子谱表征了碳纳米尖端的结构,结果表明碳膜是凸凹不平的非晶碳膜,碳纳米尖端是由sp2结构的碳组成.根据有关离子的溅射和沉积机制,分析了离子轰击碳膜诱导碳纳米尖端的形成和生长.
用CH4、NH3和H2為反應氣體,利用等離子體增彊熱絲化學氣相沉積繫統在沉積有碳膜的Si上製備瞭碳納米尖耑.用掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡和Raman光譜錶徵瞭碳膜的結構,以及用掃描電子顯微鏡和X射線光電子譜錶徵瞭碳納米尖耑的結構,結果錶明碳膜是凸凹不平的非晶碳膜,碳納米尖耑是由sp2結構的碳組成.根據有關離子的濺射和沉積機製,分析瞭離子轟擊碳膜誘導碳納米尖耑的形成和生長.
용CH4、NH3화H2위반응기체,이용등리자체증강열사화학기상침적계통재침적유탄막적Si상제비료탄납미첨단.용소묘전자현미경、원자력현미경화Raman광보표정료탄막적결구,이급용소묘전자현미경화X사선광전자보표정료탄납미첨단적결구,결과표명탄막시철요불평적비정탄막,탄납미첨단시유sp2결구적탄조성.근거유관리자적천사화침적궤제,분석료리자굉격탄막유도탄납미첨단적형성화생장.
