湘潭大学自然科学学报
湘潭大學自然科學學報
상담대학자연과학학보
NATURAL SCIENCE JOURNAL OF XIANGTAN UNIVERSITY
2007年
4期
31-34
,共4页
成传品%唐明华%叶志%周益春
成傳品%唐明華%葉誌%週益春
성전품%당명화%협지%주익춘
CSD%铁电薄膜%退火%铁电性
CSD%鐵電薄膜%退火%鐵電性
CSD%철전박막%퇴화%철전성
采用化学溶液沉积法(CSD)将Bi3.4Dy0.6Ti3O12(BDT)前驱体溶液沉积在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(111)基底上,然后在氮气环境中分别于600℃、650℃、700℃和750℃四个温度下退火,成功地制作出BDT铁电薄膜.用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)等分别对其表面形貌、结构及其成份进行了表征;用铁电分析仪测试了其铁电性能.随着退火温度的升高,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大,但其剩余极化不是随着退火温度的升高而单调增加.氮气中650℃退火的BDT铁电薄膜结晶良好,并且具有最大的剩余极化值(2Pr=7.8 μC/cm2;Ec=95.7 kV/cm).另外,就温度对BDT铁电薄膜性能的影响机理进行了讨论.
採用化學溶液沉積法(CSD)將Bi3.4Dy0.6Ti3O12(BDT)前驅體溶液沉積在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(111)基底上,然後在氮氣環境中分彆于600℃、650℃、700℃和750℃四箇溫度下退火,成功地製作齣BDT鐵電薄膜.用X射線衍射(XRD)和掃描電鏡(SEM)等分彆對其錶麵形貌、結構及其成份進行瞭錶徵;用鐵電分析儀測試瞭其鐵電性能.隨著退火溫度的升高,薄膜的晶粒呎吋逐漸增大,但其剩餘極化不是隨著退火溫度的升高而單調增加.氮氣中650℃退火的BDT鐵電薄膜結晶良好,併且具有最大的剩餘極化值(2Pr=7.8 μC/cm2;Ec=95.7 kV/cm).另外,就溫度對BDT鐵電薄膜性能的影響機理進行瞭討論.
채용화학용액침적법(CSD)장Bi3.4Dy0.6Ti3O12(BDT)전구체용액침적재Pt(111)/Ti/SiO2/Si(111)기저상,연후재담기배경중분별우600℃、650℃、700℃화750℃사개온도하퇴화,성공지제작출BDT철전박막.용X사선연사(XRD)화소묘전경(SEM)등분별대기표면형모、결구급기성빈진행료표정;용철전분석의측시료기철전성능.수착퇴화온도적승고,박막적정립척촌축점증대,단기잉여겁화불시수착퇴화온도적승고이단조증가.담기중650℃퇴화적BDT철전박막결정량호,병차구유최대적잉여겁화치(2Pr=7.8 μC/cm2;Ec=95.7 kV/cm).령외,취온도대BDT철전박막성능적영향궤리진행료토론.
