光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
26-32
,共7页
杨君%刘志国%徐清%韩东艳%林晓燕%杜晓光%Kouichi Tsuji%丁训良
楊君%劉誌國%徐清%韓東豔%林曉燕%杜曉光%Kouichi Tsuji%丁訓良
양군%류지국%서청%한동염%림효연%두효광%Kouichi Tsuji%정훈량
毛细管X射线光学器件%掠出射X射线荧光%全反射%薄膜分析
毛細管X射線光學器件%掠齣射X射線熒光%全反射%薄膜分析
모세관X사선광학기건%략출사X사선형광%전반사%박막분석
建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析.为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7 μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50 μm的狭缝以提高掠出射角扫描的角度分辨率.为了提高工作效率,编写了该系统的自动控制软件,实现了样品的自动扫描.利用该系统对采用金属蒸汽真空电弧(MEVVA)源离子束和薄膜沉积技术制备的纳米薄膜进行了掠入射X射线荧光和二维扫描分析.实验结果表明:该系统能有效地分析纳米厚度的薄膜,通过对薄膜进行掠出射角扫描分析和表面的二维扫描分析,得到了薄膜的厚度,密度及均匀性等信息.微区分析的空间分辨率可达到41.7 μm,实际空间分辨率为扫描步长50 μm.系统可用于分析薄膜样品,且荧光强度高,所需时间短,获得的信息全面丰富,数据可靠.
建立瞭應用導管X光透鏡的掠齣射微區X射線熒光分析繫統,併將該繫統應用于納米薄膜的分析.為瞭提高入射X射線的彊度併提高繫統的空間分辨率,選用焦斑為41.7 μm的會聚透鏡對原級X射線進行會聚,併在探測器前加上50 μm的狹縫以提高掠齣射角掃描的角度分辨率.為瞭提高工作效率,編寫瞭該繫統的自動控製軟件,實現瞭樣品的自動掃描.利用該繫統對採用金屬蒸汽真空電弧(MEVVA)源離子束和薄膜沉積技術製備的納米薄膜進行瞭掠入射X射線熒光和二維掃描分析.實驗結果錶明:該繫統能有效地分析納米厚度的薄膜,通過對薄膜進行掠齣射角掃描分析和錶麵的二維掃描分析,得到瞭薄膜的厚度,密度及均勻性等信息.微區分析的空間分辨率可達到41.7 μm,實際空間分辨率為掃描步長50 μm.繫統可用于分析薄膜樣品,且熒光彊度高,所需時間短,穫得的信息全麵豐富,數據可靠.
건립료응용도관X광투경적략출사미구X사선형광분석계통,병장해계통응용우납미박막적분석.위료제고입사X사선적강도병제고계통적공간분변솔,선용초반위41.7 μm적회취투경대원급X사선진행회취,병재탐측기전가상50 μm적협봉이제고략출사각소묘적각도분변솔.위료제고공작효솔,편사료해계통적자동공제연건,실현료양품적자동소묘.이용해계통대채용금속증기진공전호(MEVVA)원리자속화박막침적기술제비적납미박막진행료략입사X사선형광화이유소묘분석.실험결과표명:해계통능유효지분석납미후도적박막,통과대박막진행략출사각소묘분석화표면적이유소묘분석,득도료박막적후도,밀도급균균성등신식.미구분석적공간분변솔가체도41.7 μm,실제공간분변솔위소묘보장50 μm.계통가용우분석박막양품,차형광강도고,소수시간단,획득적신식전면봉부,수거가고.
