广西科学院学报
廣西科學院學報
엄서과학원학보
JOURNAL OF GUANGXI ACADEMY OF SCIENCES
2010年
3期
349-353
,共5页
桂柳成%邹华红%程蕾%胡坤
桂柳成%鄒華紅%程蕾%鬍坤
계류성%추화홍%정뢰%호곤
图像质量%二氧化硅微球%镀膜%加速电压%束斑变化%扫描速度%工作距离
圖像質量%二氧化硅微毬%鍍膜%加速電壓%束斑變化%掃描速度%工作距離
도상질량%이양화규미구%도막%가속전압%속반변화%소묘속도%공작거리
以二氧化硅微球作为研究对象,室温下采用场发射环境扫描电镜(FEI Quanta 200),选用二次电子(SE)成像进行SEM观察.分别考察镀膜处理、加速电压、束斑变化、扫描速度、工作距离等参数对图像质量的影响.
以二氧化硅微毬作為研究對象,室溫下採用場髮射環境掃描電鏡(FEI Quanta 200),選用二次電子(SE)成像進行SEM觀察.分彆攷察鍍膜處理、加速電壓、束斑變化、掃描速度、工作距離等參數對圖像質量的影響.
이이양화규미구작위연구대상,실온하채용장발사배경소묘전경(FEI Quanta 200),선용이차전자(SE)성상진행SEM관찰.분별고찰도막처리、가속전압、속반변화、소묘속도、공작거리등삼수대도상질량적영향.
