CAJ | 학술논문

采用化学溶液沉积技术,在单晶硅衬底上制备了钼酸锶多晶薄膜;利用XRD和SEM分析了薄膜的晶相和形貌;系统研究了化学溶液沉积制备钼酸锶多晶薄膜中的工艺参数,包括化学溶液的组成(醇、酸的含量)、溶液浓度、热处理工艺以及采用不同的锶盐等,对钼酸锶薄膜生长的影响.研究结果表明,采用化学溶液沉积技术制备的钼酸锶多晶薄膜均具有单一的四方相结构;除溶液中的醇含量之外,所讨论的工艺参数对薄膜的相结构、形貌、显露晶面等均会带来一定的影响;优化工艺参数、控制工艺规范对于获得结构致密、晶粒发育良好的钼酸锶薄膜是非常重要的.
채용화학용액침적기술,재단정규츤저상제비료목산송다정박막;이용XRD화SEM분석료박막적정상화형모;계통연구료화학용액침적제비목산송다정박막중적공예삼수,포괄화학용액적조성(순、산적함량)、용액농도、열처리공예이급채용불동적송염등,대목산송박막생장적영향.연구결과표명,채용화학용액침적기술제비적목산송다정박막균구유단일적사방상결구;제용액중적순함량지외,소토론적공예삼수대박막적상결구、형모、현로정면등균회대래일정적영향;우화공예삼수、공제공예규범대우획득결구치밀、정립발육량호적목산송박막시비상중요적.