强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2011年
12期
3157-3162
,共6页
张伟%刘维萍%顾小勇%谈春雷%彭长四
張偉%劉維萍%顧小勇%談春雷%彭長四
장위%류유평%고소용%담춘뢰%팽장사
微纳结构%纳米制造%激光干涉光刻%激光干涉图样
微納結構%納米製造%激光榦涉光刻%激光榦涉圖樣
미납결구%납미제조%격광간섭광각%격광간섭도양
利用电磁理论,研究了多光束激光干涉图样的产生原理,结合计算机数值模拟和相关实验结果,分析了干涉图样的影响因素.研究结果表明:多光束激光干涉图样可以看成是多组余弦分布的平行线条纹的叠加；相干光束的偏振方向、入射方向、光束间相位差是干涉图样的重要影响因素,改变这些因素,余弦分布的平行线条纹的振幅、位置、周期和方向发生变化,图样也随之变化.
利用電磁理論,研究瞭多光束激光榦涉圖樣的產生原理,結閤計算機數值模擬和相關實驗結果,分析瞭榦涉圖樣的影響因素.研究結果錶明:多光束激光榦涉圖樣可以看成是多組餘絃分佈的平行線條紋的疊加；相榦光束的偏振方嚮、入射方嚮、光束間相位差是榦涉圖樣的重要影響因素,改變這些因素,餘絃分佈的平行線條紋的振幅、位置、週期和方嚮髮生變化,圖樣也隨之變化.
이용전자이론,연구료다광속격광간섭도양적산생원리,결합계산궤수치모의화상관실험결과,분석료간섭도양적영향인소.연구결과표명:다광속격광간섭도양가이간성시다조여현분포적평행선조문적첩가；상간광속적편진방향、입사방향、광속간상위차시간섭도양적중요영향인소,개변저사인소,여현분포적평행선조문적진폭、위치、주기화방향발생변화,도양야수지변화.
