稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2004年
10期
1033-1036
,共4页
许小红%段静芳%王芳%武海顺%李震%李佐宜
許小紅%段靜芳%王芳%武海順%李震%李佐宜
허소홍%단정방%왕방%무해순%리진%리좌의
SmCo/Cr薄膜%矫顽力%Cr底层%溅射参数
SmCo/Cr薄膜%矯頑力%Cr底層%濺射參數
SmCo/Cr박막%교완력%Cr저층%천사삼수
在SmCo/Cr薄膜中,Cr底层的取向结构对薄膜的磁学性能有很大的影响.设计了4因素3水平的正交实验L9(34),并通过数理统计的方法分析了Cr底层的溅射参数对SmCo/Cr薄膜矫顽力的影响.用较少的实验得到Cr底层的最佳实验条件:靶基距为4 cm,功率为50 W,溅射气压为0.5 Pa,溅射时间为9 min.并发现了靶基距、功率和溅射气压对薄膜矫顽力的影响较大,其中靶基距是薄膜矫顽力最主要的控制因素.而溅射时间在所取的水平上对薄膜矫顽力的影响最小.本实验设计可达到95%的置信度.
在SmCo/Cr薄膜中,Cr底層的取嚮結構對薄膜的磁學性能有很大的影響.設計瞭4因素3水平的正交實驗L9(34),併通過數理統計的方法分析瞭Cr底層的濺射參數對SmCo/Cr薄膜矯頑力的影響.用較少的實驗得到Cr底層的最佳實驗條件:靶基距為4 cm,功率為50 W,濺射氣壓為0.5 Pa,濺射時間為9 min.併髮現瞭靶基距、功率和濺射氣壓對薄膜矯頑力的影響較大,其中靶基距是薄膜矯頑力最主要的控製因素.而濺射時間在所取的水平上對薄膜矯頑力的影響最小.本實驗設計可達到95%的置信度.
재SmCo/Cr박막중,Cr저층적취향결구대박막적자학성능유흔대적영향.설계료4인소3수평적정교실험L9(34),병통과수리통계적방법분석료Cr저층적천사삼수대SmCo/Cr박막교완력적영향.용교소적실험득도Cr저층적최가실험조건:파기거위4 cm,공솔위50 W,천사기압위0.5 Pa,천사시간위9 min.병발현료파기거、공솔화천사기압대박막교완력적영향교대,기중파기거시박막교완력최주요적공제인소.이천사시간재소취적수평상대박막교완력적영향최소.본실험설계가체도95%적치신도.
