微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2004年
11期
7-11
,共5页
低温键合%微加工%微流控分析芯片
低溫鍵閤%微加工%微流控分析芯片
저온건합%미가공%미류공분석심편
微流控分析芯片制作方法的研究是微流控分析的基础.制作性能良好的微流控分析芯片时,基片与盖片的键合技术十分重要.本文针对近年来发展迅速的低温键合技术,对各种方法进行了评价,并对其发展前景进行了展望.
微流控分析芯片製作方法的研究是微流控分析的基礎.製作性能良好的微流控分析芯片時,基片與蓋片的鍵閤技術十分重要.本文針對近年來髮展迅速的低溫鍵閤技術,對各種方法進行瞭評價,併對其髮展前景進行瞭展望.
미류공분석심편제작방법적연구시미류공분석적기출.제작성능량호적미류공분석심편시,기편여개편적건합기술십분중요.본문침대근년래발전신속적저온건합기술,대각충방법진행료평개,병대기발전전경진행료전망.
