山东大学学报（工学版）
山東大學學報（工學版）
산동대학학보（공학판）
JOURNAL OF SHANDONG UNIVERSITY(ENGINEERING SCIENCE)
2005年
6期
20-23
,共4页
侯圣英%高蕊%孟祥娟%张晓玲%孙玉璞
侯聖英%高蕊%孟祥娟%張曉玲%孫玉璞
후골영%고예%맹상연%장효령%손옥박
二硫化钼%钛%复合薄膜%摩擦性能
二硫化鉬%鈦%複閤薄膜%摩抆性能
이류화목%태%복합박막%마찰성능
用非平衡磁控溅射离子镀法沉积了钛含量不同的MoS2-Ti复合薄膜,电子探针分析表明共沉积钛可以降低MoS2薄膜中氧杂质的含量,XRD分析显示薄膜具有类似非晶的结构.划痕试验结果显示薄膜的临界栽荷都大于100N,球盘磨损试验结果显示MoS2-Ti复合薄膜比MoS2薄膜耐磨性好,并且摩擦系数低于0.07.
用非平衡磁控濺射離子鍍法沉積瞭鈦含量不同的MoS2-Ti複閤薄膜,電子探針分析錶明共沉積鈦可以降低MoS2薄膜中氧雜質的含量,XRD分析顯示薄膜具有類似非晶的結構.劃痕試驗結果顯示薄膜的臨界栽荷都大于100N,毬盤磨損試驗結果顯示MoS2-Ti複閤薄膜比MoS2薄膜耐磨性好,併且摩抆繫數低于0.07.
용비평형자공천사리자도법침적료태함량불동적MoS2-Ti복합박막,전자탐침분석표명공침적태가이강저MoS2박막중양잡질적함량,XRD분석현시박막구유유사비정적결구.화흔시험결과현시박막적림계재하도대우100N,구반마손시험결과현시MoS2-Ti복합박막비MoS2박막내마성호,병차마찰계수저우0.07.
