电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2007年
1期
19-23
,共5页
杜景永%张贵锋%何洋洋%李国卿%侯晓多
杜景永%張貴鋒%何洋洋%李國卿%侯曉多
두경영%장귀봉%하양양%리국경%후효다
类金刚石碳膜%电化学沉积%扫描电镜%力学性能
類金剛石碳膜%電化學沉積%掃描電鏡%力學性能
류금강석탄막%전화학침적%소묘전경%역학성능
采用脉冲直流电源,以甲醇有机溶液作为碳源,在常压60℃的条件下,采用电化学沉积方法在不锈钢表面制备了类金刚石碳薄膜.在电沉积过程中电流密度最高达到150 mA/cm2,沉积速度为500 m/h.用原子力显微镜和扫描电镜表征了薄膜的表面形貌,透射电镜和电子衍射谱表征了薄膜的结构.结果表明:沉积的类金刚石碳DLC膜是由均匀分布的球形纳米颗粒组成,粒度约为300 nm～400 nm,而且致密光滑;不锈钢上沉积的类金刚石薄膜,薄膜的生长是在基体表面划刻的边缘形核中心开始生长,并且生长先由基体的边缘向中心然后逐渐覆盖基体表面.
採用脈遲直流電源,以甲醇有機溶液作為碳源,在常壓60℃的條件下,採用電化學沉積方法在不鏽鋼錶麵製備瞭類金剛石碳薄膜.在電沉積過程中電流密度最高達到150 mA/cm2,沉積速度為500 m/h.用原子力顯微鏡和掃描電鏡錶徵瞭薄膜的錶麵形貌,透射電鏡和電子衍射譜錶徵瞭薄膜的結構.結果錶明:沉積的類金剛石碳DLC膜是由均勻分佈的毬形納米顆粒組成,粒度約為300 nm～400 nm,而且緻密光滑;不鏽鋼上沉積的類金剛石薄膜,薄膜的生長是在基體錶麵劃刻的邊緣形覈中心開始生長,併且生長先由基體的邊緣嚮中心然後逐漸覆蓋基體錶麵.
채용맥충직류전원,이갑순유궤용액작위탄원,재상압60℃적조건하,채용전화학침적방법재불수강표면제비료류금강석탄박막.재전침적과정중전류밀도최고체도150 mA/cm2,침적속도위500 m/h.용원자력현미경화소묘전경표정료박막적표면형모,투사전경화전자연사보표정료박막적결구.결과표명:침적적류금강석탄DLC막시유균균분포적구형납미과립조성,립도약위300 nm～400 nm,이차치밀광활;불수강상침적적류금강석박막,박막적생장시재기체표면화각적변연형핵중심개시생장,병차생장선유기체적변연향중심연후축점복개기체표면.
