光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2007年
9期
1093-1095,1103
,共4页
常雷%黄雅铮%季凌飞%蒋毅坚
常雷%黃雅錚%季凌飛%蔣毅堅
상뢰%황아쟁%계릉비%장의견
脉冲激光沉积%超巨磁电阻%激光辐照%温度电阻系数(TCR)
脈遲激光沉積%超巨磁電阻%激光輻照%溫度電阻繫數(TCR)
맥충격광침적%초거자전조%격광복조%온도전조계수(TCR)
利用脉冲激光溅射沉积技术,在SrTiO3(001)单晶衬底上外延生长了La0.67 Ca0.33 MnO3(LCMO)薄膜.采用CO2激光对制备的薄膜辐照10～60 s.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和电阻-温度测试系统对激光辐照前后的薄膜进行了对比分析.结果显示,CO2激光辐照增强了LCMO薄膜的结晶性,使薄膜呈现出类似"平原"的表面结构并降低了表面粗糙度.与传统的高温退火类似,经CO2激光辐照后,样品的电阻率从1.3 mΩ·cm下降到0.5 mΩ·cm,绝缘态-金属转变温度(Tp)和温度电阻系数(TCR)分别从255 K和7.9%·K-1提高到263 K和18.7%·K-1.研究结果表明,CO2激光辐照能够在极短的时间内改善LCMO薄膜的O含量和晶粒间的连通性,从而优化和提高了薄膜的电输运特性.
利用脈遲激光濺射沉積技術,在SrTiO3(001)單晶襯底上外延生長瞭La0.67 Ca0.33 MnO3(LCMO)薄膜.採用CO2激光對製備的薄膜輻照10～60 s.利用X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)和電阻-溫度測試繫統對激光輻照前後的薄膜進行瞭對比分析.結果顯示,CO2激光輻照增彊瞭LCMO薄膜的結晶性,使薄膜呈現齣類似"平原"的錶麵結構併降低瞭錶麵粗糙度.與傳統的高溫退火類似,經CO2激光輻照後,樣品的電阻率從1.3 mΩ·cm下降到0.5 mΩ·cm,絕緣態-金屬轉變溫度(Tp)和溫度電阻繫數(TCR)分彆從255 K和7.9%·K-1提高到263 K和18.7%·K-1.研究結果錶明,CO2激光輻照能夠在極短的時間內改善LCMO薄膜的O含量和晶粒間的連通性,從而優化和提高瞭薄膜的電輸運特性.
이용맥충격광천사침적기술,재SrTiO3(001)단정츤저상외연생장료La0.67 Ca0.33 MnO3(LCMO)박막.채용CO2격광대제비적박막복조10～60 s.이용X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)화전조-온도측시계통대격광복조전후적박막진행료대비분석.결과현시,CO2격광복조증강료LCMO박막적결정성,사박막정현출유사"평원"적표면결구병강저료표면조조도.여전통적고온퇴화유사,경CO2격광복조후,양품적전조솔종1.3 mΩ·cm하강도0.5 mΩ·cm,절연태-금속전변온도(Tp)화온도전조계수(TCR)분별종255 K화7.9%·K-1제고도263 K화18.7%·K-1.연구결과표명,CO2격광복조능구재겁단적시간내개선LCMO박막적O함량화정립간적련통성,종이우화화제고료박막적전수운특성.
