红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
z1期
31-34
,共4页
吴小利%唐恒敬%张可峰%黄翌敏%韩冰%李雪%龚海梅
吳小利%唐恆敬%張可峰%黃翌敏%韓冰%李雪%龔海梅
오소리%당항경%장가봉%황익민%한빙%리설%공해매
铟镓砷%线列探测器%伏安曲线%拟合
銦鎵砷%線列探測器%伏安麯線%擬閤
인가신%선렬탐측기%복안곡선%의합
通过闭管锌扩散制备了256元平面型铟镓砷(In0.53Ga0.47As)线列探测器,室温下焦平面平均峰值探测率为5.79×1011cmHz1/2W-1,不均匀性为31%,平均峰值响应率为0.33 A/W.并且通过拟合其伏安曲线得到了器件的理想因子和串联电阻,基于这两个相互独立的参数可以对器件不同区域的性质加以考查,结果表明器件材料具有较好的均匀性,而器件的欧姆接触电阻偏大,且不均匀性达到39%,为工艺的改进提供了重要依据.
通過閉管鋅擴散製備瞭256元平麵型銦鎵砷(In0.53Ga0.47As)線列探測器,室溫下焦平麵平均峰值探測率為5.79×1011cmHz1/2W-1,不均勻性為31%,平均峰值響應率為0.33 A/W.併且通過擬閤其伏安麯線得到瞭器件的理想因子和串聯電阻,基于這兩箇相互獨立的參數可以對器件不同區域的性質加以攷查,結果錶明器件材料具有較好的均勻性,而器件的歐姆接觸電阻偏大,且不均勻性達到39%,為工藝的改進提供瞭重要依據.
통과폐관자확산제비료256원평면형인가신(In0.53Ga0.47As)선렬탐측기,실온하초평면평균봉치탐측솔위5.79×1011cmHz1/2W-1,불균균성위31%,평균봉치향응솔위0.33 A/W.병차통과의합기복안곡선득도료기건적이상인자화천련전조,기우저량개상호독립적삼수가이대기건불동구역적성질가이고사,결과표명기건재료구유교호적균균성,이기건적구모접촉전조편대,차불균균성체도39%,위공예적개진제공료중요의거.
