红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2009年
2期
210-212,255
,共4页
张燕%王妮丽%孙璟兰%韩莉%刘向阳%李向阳%孟祥建
張燕%王妮麗%孫璟蘭%韓莉%劉嚮暘%李嚮暘%孟祥建
장연%왕니려%손경란%한리%류향양%리향양%맹상건
探测器%结构模型%透射光谱%铝镓氮/钛酸铝
探測器%結構模型%透射光譜%鋁鎵氮/鈦痠鋁
탐측기%결구모형%투사광보%려가담/태산려
提出了一种可以同时同位置探测紫外和红外信号的新型探测结构,分析了该结构的合理性,并对器件工艺进行了设计、分析和验证,制备出了AlGaN/PZT原型器件.该结构以AlGaN多层材料和PZT复合薄膜为基础,利用AlGaN宽禁带半导体的本征吸收和铁电薄膜的热电转化功能,实现对紫外和红外信号的电学响应.对该结构中各膜层的透射和吸收进行了测试和分析,在小于6 μm的光谱测试范围内,宝石衬底的透过率约为80%,而AlGaN多层外延结构和多孔SiO2隔离层都对红外光吸收很少.结果证明:该结构可以实现不同吸收层对入射光束不同波段的吸收.以AlGaN器件工艺和溶胶-凝胶法制备PZT膜层为基础,研究了器件工艺,并最终研制出了首个AlGaN/PZT探测器件.
提齣瞭一種可以同時同位置探測紫外和紅外信號的新型探測結構,分析瞭該結構的閤理性,併對器件工藝進行瞭設計、分析和驗證,製備齣瞭AlGaN/PZT原型器件.該結構以AlGaN多層材料和PZT複閤薄膜為基礎,利用AlGaN寬禁帶半導體的本徵吸收和鐵電薄膜的熱電轉化功能,實現對紫外和紅外信號的電學響應.對該結構中各膜層的透射和吸收進行瞭測試和分析,在小于6 μm的光譜測試範圍內,寶石襯底的透過率約為80%,而AlGaN多層外延結構和多孔SiO2隔離層都對紅外光吸收很少.結果證明:該結構可以實現不同吸收層對入射光束不同波段的吸收.以AlGaN器件工藝和溶膠-凝膠法製備PZT膜層為基礎,研究瞭器件工藝,併最終研製齣瞭首箇AlGaN/PZT探測器件.
제출료일충가이동시동위치탐측자외화홍외신호적신형탐측결구,분석료해결구적합이성,병대기건공예진행료설계、분석화험증,제비출료AlGaN/PZT원형기건.해결구이AlGaN다층재료화PZT복합박막위기출,이용AlGaN관금대반도체적본정흡수화철전박막적열전전화공능,실현대자외화홍외신호적전학향응.대해결구중각막층적투사화흡수진행료측시화분석,재소우6 μm적광보측시범위내,보석츤저적투과솔약위80%,이AlGaN다층외연결구화다공SiO2격리층도대홍외광흡수흔소.결과증명:해결구가이실현불동흡수층대입사광속불동파단적흡수.이AlGaN기건공예화용효-응효법제비PZT막층위기출,연구료기건공예,병최종연제출료수개AlGaN/PZT탐측기건.
