科协论坛(下半月)
科協論罈(下半月)
과협론단(하반월)
SCIENCE & TECHNOLOGY ASSOCIATION FORUM
2010年
4期
91-92
,共2页
廖招龙%刘宏亮%杨明红%何伟%李小兵
廖招龍%劉宏亮%楊明紅%何偉%李小兵
료초룡%류굉량%양명홍%하위%리소병
低精细度光纤F-P腔%多孔硅%湿度传感器
低精細度光纖F-P腔%多孔硅%濕度傳感器
저정세도광섬F-P강%다공규%습도전감기
在理论和实验的基础上分析了光纤F-P腔湿度传感器的湿度敏感特性,使用了低精细度的光纤F-P腔分析理论,即只考率在两个反射面上反射功率最强的一次反射光.以陶瓷插芯固定光纤端面,并在此基础上制备高反射率银膜和多孔硅膜构成F-P结构,得到了在低于85%的相对湿度环境下,每0.6nm的波长漂移对应于10%的相对湿度变化,与传统湿度计5%的测量精度相比有了很大的提高,并且实验证明其具有较好的重复性和线性度.因此认为这种结构的湿度传感器具有很好的湿度传感性能.
在理論和實驗的基礎上分析瞭光纖F-P腔濕度傳感器的濕度敏感特性,使用瞭低精細度的光纖F-P腔分析理論,即隻攷率在兩箇反射麵上反射功率最彊的一次反射光.以陶瓷插芯固定光纖耑麵,併在此基礎上製備高反射率銀膜和多孔硅膜構成F-P結構,得到瞭在低于85%的相對濕度環境下,每0.6nm的波長漂移對應于10%的相對濕度變化,與傳統濕度計5%的測量精度相比有瞭很大的提高,併且實驗證明其具有較好的重複性和線性度.因此認為這種結構的濕度傳感器具有很好的濕度傳感性能.
재이론화실험적기출상분석료광섬F-P강습도전감기적습도민감특성,사용료저정세도적광섬F-P강분석이론,즉지고솔재량개반사면상반사공솔최강적일차반사광.이도자삽심고정광섬단면,병재차기출상제비고반사솔은막화다공규막구성F-P결구,득도료재저우85%적상대습도배경하,매0.6nm적파장표이대응우10%적상대습도변화,여전통습도계5%적측량정도상비유료흔대적제고,병차실험증명기구유교호적중복성화선성도.인차인위저충결구적습도전감기구유흔호적습도전감성능.