光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2010年
5期
1189-1195
,共7页
聚合物微器件%超声波联接%精密联接%压力自适应
聚閤物微器件%超聲波聯接%精密聯接%壓力自適應
취합물미기건%초성파련접%정밀련접%압력자괄응
将超声波联接技术应用于聚合物微器件的联接,搭建了超声波精密联接系统.为了保证微器件在精密联接中的形状精度,选用工作频率为60 kHz的超声换能器及驱动电源为微器件提供高频、低振幅的超声波振动;以高细分步进电机驱动直线导轨控制超声波工具头的纵向移动,精确控制超声波工具头的位置,并结合力传感器实现了超声波联接过程中聚合物材料力学性能的实时检测.针对联接表面特性差异引起的联接质量不一致问题,提出了基于材料力学性能反馈的压力自适应联接方法,可以对不同零件提供自适应的超声波能量.应用该系统对PMMA材料微器件进行了联接实验,实验结果表明,该方法大幅提高了超声波联接的稳定性,实现了聚合物微器件的超声波精密联接.
將超聲波聯接技術應用于聚閤物微器件的聯接,搭建瞭超聲波精密聯接繫統.為瞭保證微器件在精密聯接中的形狀精度,選用工作頻率為60 kHz的超聲換能器及驅動電源為微器件提供高頻、低振幅的超聲波振動;以高細分步進電機驅動直線導軌控製超聲波工具頭的縱嚮移動,精確控製超聲波工具頭的位置,併結閤力傳感器實現瞭超聲波聯接過程中聚閤物材料力學性能的實時檢測.針對聯接錶麵特性差異引起的聯接質量不一緻問題,提齣瞭基于材料力學性能反饋的壓力自適應聯接方法,可以對不同零件提供自適應的超聲波能量.應用該繫統對PMMA材料微器件進行瞭聯接實驗,實驗結果錶明,該方法大幅提高瞭超聲波聯接的穩定性,實現瞭聚閤物微器件的超聲波精密聯接.
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