中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
3期
4-10,封3
,共8页
赵文杰%曾志翔%王立平%陈建敏%薛群基
趙文傑%曾誌翔%王立平%陳建敏%薛群基
조문걸%증지상%왕립평%진건민%설군기
规则织构化%形状%几何参数%润湿性
規則織構化%形狀%幾何參數%潤濕性
규칙직구화%형상%궤하삼수%윤습성
采用感应耦合等离子体刻蚀技术实现了不同形状和几何参数的规则织构化硅片表面的构筑与制备.主要以三种典型的规则织构包括圆柱状、圆坑状和沟槽状表面为研究对象,系统考察了织构形状和几何参数对表面润湿行为的影响规律.研究结果表明:随着织构高度、深度和表面覆盖率的增加,规则织构化硅片表面疏水性能增强,规则织构化表面疏水性能随着表面粗糙度的增加而增强.不同的几何形貌对硅片表面接触角的影响强度是不同的,相对于柱状与沟槽状织构,坑状织构在较小的表面粗糙度时可得到较大的接触角.当表面的接触角均为101°时,坑状、柱状、沟槽状织构的表面粗糙度分别为16.2 nm,29.2 nm和70.2 nm.
採用感應耦閤等離子體刻蝕技術實現瞭不同形狀和幾何參數的規則織構化硅片錶麵的構築與製備.主要以三種典型的規則織構包括圓柱狀、圓坑狀和溝槽狀錶麵為研究對象,繫統攷察瞭織構形狀和幾何參數對錶麵潤濕行為的影響規律.研究結果錶明:隨著織構高度、深度和錶麵覆蓋率的增加,規則織構化硅片錶麵疏水性能增彊,規則織構化錶麵疏水性能隨著錶麵粗糙度的增加而增彊.不同的幾何形貌對硅片錶麵接觸角的影響彊度是不同的,相對于柱狀與溝槽狀織構,坑狀織構在較小的錶麵粗糙度時可得到較大的接觸角.噹錶麵的接觸角均為101°時,坑狀、柱狀、溝槽狀織構的錶麵粗糙度分彆為16.2 nm,29.2 nm和70.2 nm.
채용감응우합등리자체각식기술실현료불동형상화궤하삼수적규칙직구화규편표면적구축여제비.주요이삼충전형적규칙직구포괄원주상、원갱상화구조상표면위연구대상,계통고찰료직구형상화궤하삼수대표면윤습행위적영향규률.연구결과표명:수착직구고도、심도화표면복개솔적증가,규칙직구화규편표면소수성능증강,규칙직구화표면소수성능수착표면조조도적증가이증강.불동적궤하형모대규편표면접촉각적영향강도시불동적,상대우주상여구조상직구,갱상직구재교소적표면조조도시가득도교대적접촉각.당표면적접촉각균위101°시,갱상、주상、구조상직구적표면조조도분별위16.2 nm,29.2 nm화70.2 nm.
