润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2011年
9期
51-54
,共4页
MPTS%沉积时间%XPS%接触角%摩擦因数%自组装膜
MPTS%沉積時間%XPS%接觸角%摩抆因數%自組裝膜
MPTS%침적시간%XPS%접촉각%마찰인수%자조장막
利用分子自组装技术在羟基化后的单晶硅硅片表面制备)3-巯基丙基)三甲氧基硅烷(MPTS)自组装膜,用X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的表面结构进行表征,用JGW-360a型接触角测量仪测量硅片表面的接触角,用UMT-200型微观摩擦磨损实验机测量硅片的摩擦因数,探讨沉积时间对自组装膜的摩擦学性能的影响.结果表明:MPTS自组装膜具有亲水疏水性能,其对水的接触角超过60°；硅片表面沉积MPTS可以大幅度降低硅片的摩擦因数,使硅基片表面的摩擦因数由无膜时的0.6降至0.25左右,且具有很好的耐磨性；沉积时间对硅表面自组装膜的摩擦学性能影响较大,在本实验条件下,0.5h沉积时间所制备的MPTS-SAM硅片的耐磨性最佳,lh沉积时间制得的硅片表面最为光滑.
利用分子自組裝技術在羥基化後的單晶硅硅片錶麵製備)3-巰基丙基)三甲氧基硅烷(MPTS)自組裝膜,用X射線光電子能譜儀(XPS)對薄膜的錶麵結構進行錶徵,用JGW-360a型接觸角測量儀測量硅片錶麵的接觸角,用UMT-200型微觀摩抆磨損實驗機測量硅片的摩抆因數,探討沉積時間對自組裝膜的摩抆學性能的影響.結果錶明:MPTS自組裝膜具有親水疏水性能,其對水的接觸角超過60°；硅片錶麵沉積MPTS可以大幅度降低硅片的摩抆因數,使硅基片錶麵的摩抆因數由無膜時的0.6降至0.25左右,且具有很好的耐磨性；沉積時間對硅錶麵自組裝膜的摩抆學性能影響較大,在本實驗條件下,0.5h沉積時間所製備的MPTS-SAM硅片的耐磨性最佳,lh沉積時間製得的硅片錶麵最為光滑.
이용분자자조장기술재간기화후적단정규규편표면제비)3-구기병기)삼갑양기규완(MPTS)자조장막,용X사선광전자능보의(XPS)대박막적표면결구진행표정,용JGW-360a형접촉각측량의측량규편표면적접촉각,용UMT-200형미관마찰마손실험궤측량규편적마찰인수,탐토침적시간대자조장막적마찰학성능적영향.결과표명:MPTS자조장막구유친수소수성능,기대수적접촉각초과60°；규편표면침적MPTS가이대폭도강저규편적마찰인수,사규기편표면적마찰인수유무막시적0.6강지0.25좌우,차구유흔호적내마성；침적시간대규표면자조장막적마찰학성능영향교대,재본실험조건하,0.5h침적시간소제비적MPTS-SAM규편적내마성최가,lh침적시간제득적규편표면최위광활.
