化工技术与开发
化工技術與開髮
화공기술여개발
TECHNOLOGY & DVELOPMENT OF CHEMICAL INDUSTRY
2012年
2期
32-34,4
,共4页
林军%吴小海%洪春美%王文营%彭艳霞%朱永艳
林軍%吳小海%洪春美%王文營%彭豔霞%硃永豔
림군%오소해%홍춘미%왕문영%팽염하%주영염
电子级磷酸%合成工艺%纯化技术%检测%应用
電子級燐痠%閤成工藝%純化技術%檢測%應用
전자급린산%합성공예%순화기술%검측%응용
电子级磷酸是大规模集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、半导体等微电子工业必用的清洗剂和蚀刻剂.本文在探讨了电子级磷酸制备工艺基础上,对电子级磷酸的质量标准与检测方法予以综述,并对其应用前景予以展望.
電子級燐痠是大規模集成電路(IC)、薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、半導體等微電子工業必用的清洗劑和蝕刻劑.本文在探討瞭電子級燐痠製備工藝基礎上,對電子級燐痠的質量標準與檢測方法予以綜述,併對其應用前景予以展望.
전자급린산시대규모집성전로(IC)、박막액정현시기(TFT-LCD)、반도체등미전자공업필용적청세제화식각제.본문재탐토료전자급린산제비공예기출상,대전자급린산적질량표준여검측방법여이종술,병대기응용전경여이전망.
