真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
2期
127-129
,共3页
ZnO多晶薄膜%射频磁控溅射%晶粒%荧光光谱%红移
ZnO多晶薄膜%射頻磁控濺射%晶粒%熒光光譜%紅移
ZnO다정박막%사빈자공천사%정립%형광광보%홍이
用射频磁控溅射方法在未进行人为加热的石英玻璃衬底上,生长了良好c轴择优取向的ZnO多晶薄膜.研究了该ZnO薄膜的晶粒大小与其荧光光谱的关系,发现369 nm的本征峰和406 nm的缺陷峰随着薄膜晶粒的增大晶界应力的增加而出现红移,但469 nm的缺陷峰峰位却基本保持不变,并对各峰的形成和强度大小的变化规律作出了相应的解释.
用射頻磁控濺射方法在未進行人為加熱的石英玻璃襯底上,生長瞭良好c軸擇優取嚮的ZnO多晶薄膜.研究瞭該ZnO薄膜的晶粒大小與其熒光光譜的關繫,髮現369 nm的本徵峰和406 nm的缺陷峰隨著薄膜晶粒的增大晶界應力的增加而齣現紅移,但469 nm的缺陷峰峰位卻基本保持不變,併對各峰的形成和彊度大小的變化規律作齣瞭相應的解釋.
용사빈자공천사방법재미진행인위가열적석영파리츤저상,생장료량호c축택우취향적ZnO다정박막.연구료해ZnO박막적정립대소여기형광광보적관계,발현369 nm적본정봉화406 nm적결함봉수착박막정립적증대정계응력적증가이출현홍이,단469 nm적결함봉봉위각기본보지불변,병대각봉적형성화강도대소적변화규률작출료상응적해석.
