中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2009年
5期
20-25
,共6页
TiN/Ti%多层薄膜%微观结构%氧化行为
TiN/Ti%多層薄膜%微觀結構%氧化行為
TiN/Ti%다층박막%미관결구%양화행위
研究了TiN/Ti多层膜不同温度下的微观结构和氧化行为.采用阴极弧离子镀沉积的方法制备了19层调制周期为200 nm的TiN/Ti多层膜及相应的TiN单层膜.采用高分辨场发射电子显微镜(HR-FESEM)、光学显微镜和X射线衍射仪(XRD)分别对膜层断面结构、表面形貌和物相进行分析.结果表明,随着加热温度的升高,TiN单层膜在350℃时开始出现局部剥落,550℃出现大范围的剥落,而多层膜未发生剥落;相对TiN单层膜,TiN/Ti多层膜具有层状结构,其抗氧化能力有一定的提高.结合试验结果,讨论了TiN/Ti多层膜和TiN单层膜的工作温度.
研究瞭TiN/Ti多層膜不同溫度下的微觀結構和氧化行為.採用陰極弧離子鍍沉積的方法製備瞭19層調製週期為200 nm的TiN/Ti多層膜及相應的TiN單層膜.採用高分辨場髮射電子顯微鏡(HR-FESEM)、光學顯微鏡和X射線衍射儀(XRD)分彆對膜層斷麵結構、錶麵形貌和物相進行分析.結果錶明,隨著加熱溫度的升高,TiN單層膜在350℃時開始齣現跼部剝落,550℃齣現大範圍的剝落,而多層膜未髮生剝落;相對TiN單層膜,TiN/Ti多層膜具有層狀結構,其抗氧化能力有一定的提高.結閤試驗結果,討論瞭TiN/Ti多層膜和TiN單層膜的工作溫度.
연구료TiN/Ti다층막불동온도하적미관결구화양화행위.채용음겁호리자도침적적방법제비료19층조제주기위200 nm적TiN/Ti다층막급상응적TiN단층막.채용고분변장발사전자현미경(HR-FESEM)、광학현미경화X사선연사의(XRD)분별대막층단면결구、표면형모화물상진행분석.결과표명,수착가열온도적승고,TiN단층막재350℃시개시출현국부박락,550℃출현대범위적박락,이다층막미발생박락;상대TiN단층막,TiN/Ti다층막구유층상결구,기항양화능력유일정적제고.결합시험결과,토론료TiN/Ti다층막화TiN단층막적공작온도.
