微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
11期
684-688
,共5页
高杨%白竹川%刘婷婷%袁明权
高楊%白竹川%劉婷婷%袁明權
고양%백죽천%류정정%원명권
微电子机械系统%微流体%电渗泵%微通道%开通道
微電子機械繫統%微流體%電滲泵%微通道%開通道
미전자궤계계통%미류체%전삼빙%미통도%개통도
开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件.开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸参数有直接关系.首先理论分析了微通道的长度、宽度和高度对开通道电渗流性能的影响,得出了各参数对电渗流性能的影响趋势.应用MEMS CAD软件Coventorware对微通道尺寸的影响进行了数值仿真分析,结果表明:数值仿真得出的结论与理论分析相一致,高深宽比微通道的电渗泵,减小宽度W和深度H有助于提高开通道电渗泵的压力,但流量也随之减小,设计时宽度和深度需折衷取值;长度L只对流量有影响,对压力无影响,通过优化设计微通道的几何尺寸可以使开通道电渗泵的压力和流量性能得以提高.
開通道電滲泵的結構簡單,性能優越,製作工藝滿足標準MEMS微加工工藝,是實現微泵片上集成應用的重要途徑之一,可應用于微電子機械繫統中作為液壓緻動元件.開通道電滲泵的壓力流量性能與微通道的呎吋參數有直接關繫.首先理論分析瞭微通道的長度、寬度和高度對開通道電滲流性能的影響,得齣瞭各參數對電滲流性能的影響趨勢.應用MEMS CAD軟件Coventorware對微通道呎吋的影響進行瞭數值倣真分析,結果錶明:數值倣真得齣的結論與理論分析相一緻,高深寬比微通道的電滲泵,減小寬度W和深度H有助于提高開通道電滲泵的壓力,但流量也隨之減小,設計時寬度和深度需摺衷取值;長度L隻對流量有影響,對壓力無影響,通過優化設計微通道的幾何呎吋可以使開通道電滲泵的壓力和流量性能得以提高.
개통도전삼빙적결구간단,성능우월,제작공예만족표준MEMS미가공공예,시실현미빙편상집성응용적중요도경지일,가응용우미전자궤계계통중작위액압치동원건.개통도전삼빙적압력류량성능여미통도적척촌삼수유직접관계.수선이론분석료미통도적장도、관도화고도대개통도전삼류성능적영향,득출료각삼수대전삼류성능적영향추세.응용MEMS CAD연건Coventorware대미통도척촌적영향진행료수치방진분석,결과표명:수치방진득출적결론여이론분석상일치,고심관비미통도적전삼빙,감소관도W화심도H유조우제고개통도전삼빙적압력,단류량야수지감소,설계시관도화심도수절충취치;장도L지대류량유영향,대압력무영향,통과우화설계미통도적궤하척촌가이사개통도전삼빙적압력화류량성능득이제고.
