吉林师范大学学报（自然科学版）
吉林師範大學學報（自然科學版）
길림사범대학학보（자연과학판）
JILIN NORMAL UNIVERSITY JOURNAL（NATURAL SCIENCE EDITION）
2010年
4期
71-73
,共3页
张玉梅%刘梅%陈芳慧%李海波
張玉梅%劉梅%陳芳慧%李海波
장옥매%류매%진방혜%리해파
磁控溅射%L10-FePt薄膜%厚度%结构%磁性
磁控濺射%L10-FePt薄膜%厚度%結構%磁性
자공천사%L10-FePt박막%후도%결구%자성
采用磁控溅射法在Si<0001>基片上制备了FePt薄膜,薄膜样品经过650℃热处理1 h.利用X射线衍射仪和振动样品磁强计对样品的结构和磁性进行了测量和分析.结果表明,样品经过650℃热处理后均形成了有序面心四方结构的L10-FePt相.当FePt薄膜厚度达到20 nm时,样品平行膜面和垂直膜面的矫顽力最大,分别是9.2和8.0 kOe.随着厚度的增加,样品平均晶粒度增大,平行膜面和垂直膜面的矫顽力均呈现减小趋势.
採用磁控濺射法在Si<0001>基片上製備瞭FePt薄膜,薄膜樣品經過650℃熱處理1 h.利用X射線衍射儀和振動樣品磁彊計對樣品的結構和磁性進行瞭測量和分析.結果錶明,樣品經過650℃熱處理後均形成瞭有序麵心四方結構的L10-FePt相.噹FePt薄膜厚度達到20 nm時,樣品平行膜麵和垂直膜麵的矯頑力最大,分彆是9.2和8.0 kOe.隨著厚度的增加,樣品平均晶粒度增大,平行膜麵和垂直膜麵的矯頑力均呈現減小趨勢.
채용자공천사법재Si<0001>기편상제비료FePt박막,박막양품경과650℃열처리1 h.이용X사선연사의화진동양품자강계대양품적결구화자성진행료측량화분석.결과표명,양품경과650℃열처리후균형성료유서면심사방결구적L10-FePt상.당FePt박막후도체도20 nm시,양품평행막면화수직막면적교완력최대,분별시9.2화8.0 kOe.수착후도적증가,양품평균정립도증대,평행막면화수직막면적교완력균정현감소추세.
