中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2007年
1期
35-37
,共3页
射频溅射%脉冲偏压%氟碳自由基
射頻濺射%脈遲偏壓%氟碳自由基
사빈천사%맥충편압%불탄자유기
采用四极质谱仪测量了试验参数对高压脉冲增强射频磁控溅射PTFE靶等离子体气氛的影响规律.结果表明:增加脉冲偏压、脉冲频率、脉宽、射频功率和气压能提高Ar离子对PTFE靶的溅射能力,增加空间中氟碳自由基的数量,其中各参数对峰位位于25.0 aum处的氟碳自由基强度影响最大:脉冲电压从10 kV提高到20 kV能将该峰强度提高2倍;脉宽从40 s提高到100 μs强度提高80倍;频率从50 Hz提高到200 Hz强度提高4倍;溅射气压由0.1Pa提高到0.3 Pa强度提高6倍;射频功率由200 W提高到400 W强度提高6倍.励磁电流能有效的约束氟碳自由基的空间分布.
採用四極質譜儀測量瞭試驗參數對高壓脈遲增彊射頻磁控濺射PTFE靶等離子體氣氛的影響規律.結果錶明:增加脈遲偏壓、脈遲頻率、脈寬、射頻功率和氣壓能提高Ar離子對PTFE靶的濺射能力,增加空間中氟碳自由基的數量,其中各參數對峰位位于25.0 aum處的氟碳自由基彊度影響最大:脈遲電壓從10 kV提高到20 kV能將該峰彊度提高2倍;脈寬從40 s提高到100 μs彊度提高80倍;頻率從50 Hz提高到200 Hz彊度提高4倍;濺射氣壓由0.1Pa提高到0.3 Pa彊度提高6倍;射頻功率由200 W提高到400 W彊度提高6倍.勵磁電流能有效的約束氟碳自由基的空間分佈.
채용사겁질보의측량료시험삼수대고압맥충증강사빈자공천사PTFE파등리자체기분적영향규률.결과표명:증가맥충편압、맥충빈솔、맥관、사빈공솔화기압능제고Ar리자대PTFE파적천사능력,증가공간중불탄자유기적수량,기중각삼수대봉위위우25.0 aum처적불탄자유기강도영향최대:맥충전압종10 kV제고도20 kV능장해봉강도제고2배;맥관종40 s제고도100 μs강도제고80배;빈솔종50 Hz제고도200 Hz강도제고4배;천사기압유0.1Pa제고도0.3 Pa강도제고6배;사빈공솔유200 W제고도400 W강도제고6배.려자전류능유효적약속불탄자유기적공간분포.
