真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
143-145,161
,共4页
楚信谱%苟伟%李国卿%柳翠
楚信譜%茍偉%李國卿%柳翠
초신보%구위%리국경%류취
自负偏压%射频放电%类金刚石碳膜%Raman光谱
自負偏壓%射頻放電%類金剛石碳膜%Raman光譜
자부편압%사빈방전%류금강석탄막%Raman광보
采用高压探头示波器系统研究了射频辉光放电参数对自偏压的影响规律.结果发现自偏压随着射频功率平方根而线性增加,随纯Ar和Ar,C2H2混合气体气压的降低而降低,自偏压随C2H2的比率增大而增加,而且,射频输入功率在500和700 W下,由射频辉光放电所制备的类金刚石薄膜分别通过Raman光谱和纳米压痕技术测试,研究了这些薄膜的微观结构和机械性能.功率500 W制备的类金刚石薄膜(ID/IG为0.66)较700W制备的类金刚石薄膜(ID/IG为1.44)具有较高的硬度和sp3键含量,表明在500 W功率下制备的类金刚石薄膜中有高含量的sp3键.
採用高壓探頭示波器繫統研究瞭射頻輝光放電參數對自偏壓的影響規律.結果髮現自偏壓隨著射頻功率平方根而線性增加,隨純Ar和Ar,C2H2混閤氣體氣壓的降低而降低,自偏壓隨C2H2的比率增大而增加,而且,射頻輸入功率在500和700 W下,由射頻輝光放電所製備的類金剛石薄膜分彆通過Raman光譜和納米壓痕技術測試,研究瞭這些薄膜的微觀結構和機械性能.功率500 W製備的類金剛石薄膜(ID/IG為0.66)較700W製備的類金剛石薄膜(ID/IG為1.44)具有較高的硬度和sp3鍵含量,錶明在500 W功率下製備的類金剛石薄膜中有高含量的sp3鍵.
채용고압탐두시파기계통연구료사빈휘광방전삼수대자편압적영향규률.결과발현자편압수착사빈공솔평방근이선성증가,수순Ar화Ar,C2H2혼합기체기압적강저이강저,자편압수C2H2적비솔증대이증가,이차,사빈수입공솔재500화700 W하,유사빈휘광방전소제비적류금강석박막분별통과Raman광보화납미압흔기술측시,연구료저사박막적미관결구화궤계성능.공솔500 W제비적류금강석박막(ID/IG위0.66)교700W제비적류금강석박막(ID/IG위1.44)구유교고적경도화sp3건함량,표명재500 W공솔하제비적류금강석박막중유고함량적sp3건.
