真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
1期
72-75
,共4页
付景永%吉元%张隐奇%王丽%田彦宝%徐学东%韩晓东
付景永%吉元%張隱奇%王麗%田彥寶%徐學東%韓曉東
부경영%길원%장은기%왕려%전언보%서학동%한효동
环境扫描电镜%电荷环境%样品电流
環境掃描電鏡%電荷環境%樣品電流
배경소묘전경%전하배경%양품전류
在环境扫描电镜(ESEM)中,采用高灵敏度的pA-表测试系统,测量法拉第杯,以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流(ISP).ISP值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内的电荷环境.法拉第杯的ISP反映出入射电子和离子所控制的电荷环境;样品的ISP反映出入射电子、信号电子和离子所控制的电荷环境.由IsP值可确定ESEM在不同操作和环境条件下的离子化效率、离子化饱和程度,以及气体分子的散射作用.
在環境掃描電鏡(ESEM)中,採用高靈敏度的pA-錶測試繫統,測量法拉第杯,以及Cu-Zn閤金、單晶Si、單晶Al2O3三種樣品的樣品電流(ISP).ISP值反映齣由電子流和離子流控製的ESEM樣品室內的電荷環境.法拉第杯的ISP反映齣入射電子和離子所控製的電荷環境;樣品的ISP反映齣入射電子、信號電子和離子所控製的電荷環境.由IsP值可確定ESEM在不同操作和環境條件下的離子化效率、離子化飽和程度,以及氣體分子的散射作用.
재배경소묘전경(ESEM)중,채용고령민도적pA-표측시계통,측량법랍제배,이급Cu-Zn합금、단정Si、단정Al2O3삼충양품적양품전류(ISP).ISP치반영출유전자류화리자류공제적ESEM양품실내적전하배경.법랍제배적ISP반영출입사전자화리자소공제적전하배경;양품적ISP반영출입사전자、신호전자화리자소공제적전하배경.유IsP치가학정ESEM재불동조작화배경조건하적리자화효솔、리자화포화정도,이급기체분자적산사작용.
