三氯氢硅合成尾气处理工艺
삼록경규합성미기처리공예
Process of treating tail gas from trichlorosilane synthesis
  • 万方数据
    氯碱工业 록감공업
    CHLOR-ALKALI INDUSTRY
    2009年 10期 35-36 ,共2页

    谷文军%孟祥考%吴军祥

    곡문군%맹상고%오군상

    三氯氢硅%尾气处理%变压吸附 三氯氫硅%尾氣處理%變壓吸附
    삼록경규%미기처리%변압흡부
    介绍了几种处理三氯氢硅合成尾气的工艺,分析了各自的优缺点.
    개소료궤충처리삼록경규합성미기적공예,분석료각자적우결점.
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