天津师范大学学报（自然科学版）
天津師範大學學報（自然科學版）
천진사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
1期
29-32
,共4页
董磊%刘广庆%孙延东%龚杰%刘孟寅%李德军
董磊%劉廣慶%孫延東%龔傑%劉孟寅%李德軍
동뢰%류엄경%손연동%공걸%류맹인%리덕군
离子束辅助沉积%TiB2/Si3N4纳米多层膜%调制比%硬度
離子束輔助沉積%TiB2/Si3N4納米多層膜%調製比%硬度
리자속보조침적%TiB2/Si3N4납미다층막%조제비%경도
利用超高真空离子束辅助沉积(IBAD)系统,在225℃条件下,制备一系列TiB2/Si3N4纳米多层膜,通过X射线衍射(XRD)仪、表面轮廓仪、原子力显微镜(AFM)和纳米力学测试系统分析该体系合成中调制比对多层膜结构和机械性能的影响.结果表明:一定条件下制备的多层膜其纳米硬度值高于两种个体材料混合相的硬度值;当调制比为15:1,调制周期为(13±1)nm时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、应力、弹性模量和膜基结合性能均达到最佳.多层膜机械性能的明显改善与其多层结构和多晶结构存在直接联系.实验证明通过选择合适的个体层材料、厚度以及调制比等条件,制备具有高硬度、低应力和良好膜基结合力的纳米多层膜是可以实现的.
利用超高真空離子束輔助沉積(IBAD)繫統,在225℃條件下,製備一繫列TiB2/Si3N4納米多層膜,通過X射線衍射(XRD)儀、錶麵輪廓儀、原子力顯微鏡(AFM)和納米力學測試繫統分析該體繫閤成中調製比對多層膜結構和機械性能的影響.結果錶明:一定條件下製備的多層膜其納米硬度值高于兩種箇體材料混閤相的硬度值;噹調製比為15:1,調製週期為(13±1)nm時,結晶齣現多元化,多層膜體繫的硬度、應力、彈性模量和膜基結閤性能均達到最佳.多層膜機械性能的明顯改善與其多層結構和多晶結構存在直接聯繫.實驗證明通過選擇閤適的箇體層材料、厚度以及調製比等條件,製備具有高硬度、低應力和良好膜基結閤力的納米多層膜是可以實現的.
이용초고진공리자속보조침적(IBAD)계통,재225℃조건하,제비일계렬TiB2/Si3N4납미다층막,통과X사선연사(XRD)의、표면륜곽의、원자력현미경(AFM)화납미역학측시계통분석해체계합성중조제비대다층막결구화궤계성능적영향.결과표명:일정조건하제비적다층막기납미경도치고우량충개체재료혼합상적경도치;당조제비위15:1,조제주기위(13±1)nm시,결정출현다원화,다층막체계적경도、응력、탄성모량화막기결합성능균체도최가.다층막궤계성능적명현개선여기다층결구화다정결구존재직접련계.실험증명통과선택합괄적개체층재료、후도이급조제비등조건,제비구유고경도、저응력화량호막기결합력적납미다층막시가이실현적.
