CAJ | 학술논문

高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率.首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为IC晶片的精密检测提供了可靠的保证.
고정밀현미수공공작태시IC정편자동광학검측적핵심부건지일,기운동정도직접영향광학검측설비적분변력,공작태적운동속도화가속도회영향정개IC정편검측적공작효솔.수선급출료고정도공작태적궤계설계화공작태감입식공제결구,연후침대공작태적구동정도진행연구,심입분석료구동전궤세분공제중적정여현세분공제방법,사용세분표사표산법진행계산,분석료사표법존재적불족방면,제출료다급세분공제산법,이용원적다변형핍근산법동태계산세분전류치,보증료고차세분정황하전궤선권전류시량적균균성,사득미보거각적분배경균균,유효적제고료공작태운동적평은성화공제정도,위IC정편적정밀검측제공료가고적보증.