中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2004年
6期
659-661
,共3页
激光技术%硅模具%微细加工技术%微谐振腔滤波器
激光技術%硅模具%微細加工技術%微諧振腔濾波器
격광기술%규모구%미세가공기술%미해진강려파기
设计了一种新工艺--利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器.首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具,再利用硅模具复制得到微谐振腔.组合刻蚀工艺是采用深层反应离子刻蚀(deep-RIE)再结合EPW湿法刻蚀(一种各向异性刻蚀技术).由于EPW湿法刻蚀对<110〉面刻蚀速率较慢,可制作出具有光学镜面的侧壁<110>的硅模具,利用此模具可复制出正方形固态染料微谐振腔.以激光染料若丹明6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)为工作物质,在调Q Nd:YAG自倍频激光532 nm抽运下,得到600 nm波长的激光输出.这种谐振腔可应用在染料激光器和滤波器中,对其原理、设计、制作工艺和性能都作了介绍.
設計瞭一種新工藝--利用硅微結構直接作為模具來製作微小固體染料激光器諧振腔型濾波器.首先通過組閤刻蝕工藝製作硅模具,再利用硅模具複製得到微諧振腔.組閤刻蝕工藝是採用深層反應離子刻蝕(deep-RIE)再結閤EPW濕法刻蝕(一種各嚮異性刻蝕技術).由于EPW濕法刻蝕對<110〉麵刻蝕速率較慢,可製作齣具有光學鏡麵的側壁<110>的硅模具,利用此模具可複製齣正方形固態染料微諧振腔.以激光染料若丹明6G摻雜的聚甲基丙烯痠甲脂(PMMA)為工作物質,在調Q Nd:YAG自倍頻激光532 nm抽運下,得到600 nm波長的激光輸齣.這種諧振腔可應用在染料激光器和濾波器中,對其原理、設計、製作工藝和性能都作瞭介紹.
설계료일충신공예--이용규미결구직접작위모구래제작미소고체염료격광기해진강형려파기.수선통과조합각식공예제작규모구,재이용규모구복제득도미해진강.조합각식공예시채용심층반응리자각식(deep-RIE)재결합EPW습법각식(일충각향이성각식기술).유우EPW습법각식대<110〉면각식속솔교만,가제작출구유광학경면적측벽<110>적규모구,이용차모구가복제출정방형고태염료미해진강.이격광염료약단명6G참잡적취갑기병희산갑지(PMMA)위공작물질,재조Q Nd:YAG자배빈격광532 nm추운하,득도600 nm파장적격광수출.저충해진강가응용재염료격광기화려파기중,대기원리、설계、제작공예화성능도작료개소.
