物理学报
物理學報
물이학보
2005年
4期
1841-1846
,共6页
黄阀%李宝河%杨涛%翟中海%朱逢吾
黃閥%李寶河%楊濤%翟中海%硃逢吾
황벌%리보하%양도%적중해%주봉오
溅射气压%多层膜%垂直磁各向异性%有效磁各向异性常数
濺射氣壓%多層膜%垂直磁各嚮異性%有效磁各嚮異性常數
천사기압%다층막%수직자각향이성%유효자각향이성상수
采用磁控溅射法制备了性能优良的以Pt为缓冲层的[Co85 Cr15/Pt]20多层膜,研究了溅射气压对[Co83Cr15/Pt]20多层膜微结构和磁性的影响.研究结果表明,Ar溅射气压对[Co85 Cr15/Pt]20多层膜的微结构、垂直磁各向异性和矫顽力有重要的影响.所有样品的有效各向异性常数K()ff＞0,具有垂直磁各向异性.随着Ar气压增加,样品垂直膜面的矫顽力增加,但样品有效磁各向异性常数减小.在1.6 Pa Ar溅射的Pt(20nm)/[(Co85Cr15(0.5 nm)/Pt(1.5 nm)]20多层膜,矫顽力达到130 kA/m,具有垂直各向异性,可作为垂直磁记录介质.原子力显微镜照片显示,随着Ar气压增加,表面平均晶粒尺寸和粗糙度均增加.这是导致多层膜的垂直矫顽力增加和有效磁各向异性常数减小的原因.
採用磁控濺射法製備瞭性能優良的以Pt為緩遲層的[Co85 Cr15/Pt]20多層膜,研究瞭濺射氣壓對[Co83Cr15/Pt]20多層膜微結構和磁性的影響.研究結果錶明,Ar濺射氣壓對[Co85 Cr15/Pt]20多層膜的微結構、垂直磁各嚮異性和矯頑力有重要的影響.所有樣品的有效各嚮異性常數K()ff＞0,具有垂直磁各嚮異性.隨著Ar氣壓增加,樣品垂直膜麵的矯頑力增加,但樣品有效磁各嚮異性常數減小.在1.6 Pa Ar濺射的Pt(20nm)/[(Co85Cr15(0.5 nm)/Pt(1.5 nm)]20多層膜,矯頑力達到130 kA/m,具有垂直各嚮異性,可作為垂直磁記錄介質.原子力顯微鏡照片顯示,隨著Ar氣壓增加,錶麵平均晶粒呎吋和粗糙度均增加.這是導緻多層膜的垂直矯頑力增加和有效磁各嚮異性常數減小的原因.
채용자공천사법제비료성능우량적이Pt위완충층적[Co85 Cr15/Pt]20다층막,연구료천사기압대[Co83Cr15/Pt]20다층막미결구화자성적영향.연구결과표명,Ar천사기압대[Co85 Cr15/Pt]20다층막적미결구、수직자각향이성화교완력유중요적영향.소유양품적유효각향이성상수K()ff＞0,구유수직자각향이성.수착Ar기압증가,양품수직막면적교완력증가,단양품유효자각향이성상수감소.재1.6 Pa Ar천사적Pt(20nm)/[(Co85Cr15(0.5 nm)/Pt(1.5 nm)]20다층막,교완력체도130 kA/m,구유수직각향이성,가작위수직자기록개질.원자력현미경조편현시,수착Ar기압증가,표면평균정립척촌화조조도균증가.저시도치다층막적수직교완력증가화유효자각향이성상수감소적원인.
