清华大学学报（自然科学版）
清華大學學報（自然科學版）
청화대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
12期
1640-1642
,共3页
SiHCl3%离心分离%硅同位素
SiHCl3%離心分離%硅同位素
SiHCl3%리심분리%규동위소
为了获得高丰度的 28Si 同位素,生产高纯度的单晶硅,利用气体离心机对硅同位素进行离心分离.通过对SiHCl3中组成元素的不同同位素丰度的分析,计算了天然SiHCl3中不同相对分子质量的分子组成.分析结果表明: 虽然氯有两种同位素,但也可以将SiHCl3作为分离 28Si 同位素的工作介质.通过4台离心级联的分离实验,得到了 28Si 丰度达到99%的SiHCl3样品.离心分离得到的高丰度SiHCl3不用经过化学转化就可以直接用于单晶硅的生产.实验结果表明,采用离心法分离SiHCl3可以得到高丰度 28Si.
為瞭穫得高豐度的 28Si 同位素,生產高純度的單晶硅,利用氣體離心機對硅同位素進行離心分離.通過對SiHCl3中組成元素的不同同位素豐度的分析,計算瞭天然SiHCl3中不同相對分子質量的分子組成.分析結果錶明: 雖然氯有兩種同位素,但也可以將SiHCl3作為分離 28Si 同位素的工作介質.通過4檯離心級聯的分離實驗,得到瞭 28Si 豐度達到99%的SiHCl3樣品.離心分離得到的高豐度SiHCl3不用經過化學轉化就可以直接用于單晶硅的生產.實驗結果錶明,採用離心法分離SiHCl3可以得到高豐度 28Si.
위료획득고봉도적 28Si 동위소,생산고순도적단정규,이용기체리심궤대규동위소진행리심분리.통과대SiHCl3중조성원소적불동동위소봉도적분석,계산료천연SiHCl3중불동상대분자질량적분자조성.분석결과표명: 수연록유량충동위소,단야가이장SiHCl3작위분리 28Si 동위소적공작개질.통과4태리심급련적분리실험,득도료 28Si 봉도체도99%적SiHCl3양품.리심분리득도적고봉도SiHCl3불용경과화학전화취가이직접용우단정규적생산.실험결과표명,채용리심법분리SiHCl3가이득도고봉도 28Si.
