物理学报
物理學報
물이학보
2006年
4期
1987-1990
,共4页
负离子元素杂质%缺陷%吸收
負離子元素雜質%缺陷%吸收
부리자원소잡질%결함%흡수
探讨了HfO2薄膜中负离子元素杂质破坏模型,并得出薄膜中的杂质主要来源于镀膜材料.用电子束蒸发方法沉积两种不同Cl元素含量的HfO2薄膜,测定薄膜弱吸收和损伤阈值来验证负离子元素破坏模型. 结果表明,随着Cl元素含量的增加薄膜的弱吸收增加损伤阈值减小. 这主要是因为负离子元素在蒸发过程中形成挥发性的气源中心而产生缺陷,缺陷在激光辐照过程中又形成吸收中心. 因此负离子元素的存在将加速薄膜的破坏.
探討瞭HfO2薄膜中負離子元素雜質破壞模型,併得齣薄膜中的雜質主要來源于鍍膜材料.用電子束蒸髮方法沉積兩種不同Cl元素含量的HfO2薄膜,測定薄膜弱吸收和損傷閾值來驗證負離子元素破壞模型. 結果錶明,隨著Cl元素含量的增加薄膜的弱吸收增加損傷閾值減小. 這主要是因為負離子元素在蒸髮過程中形成揮髮性的氣源中心而產生缺陷,缺陷在激光輻照過程中又形成吸收中心. 因此負離子元素的存在將加速薄膜的破壞.
탐토료HfO2박막중부리자원소잡질파배모형,병득출박막중적잡질주요래원우도막재료.용전자속증발방법침적량충불동Cl원소함량적HfO2박막,측정박막약흡수화손상역치래험증부리자원소파배모형. 결과표명,수착Cl원소함량적증가박막적약흡수증가손상역치감소. 저주요시인위부리자원소재증발과정중형성휘발성적기원중심이산생결함,결함재격광복조과정중우형성흡수중심. 인차부리자원소적존재장가속박막적파배.
