传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1473-1476
,共4页
王波%梁迎春%孙雅洲%谭亚明
王波%樑迎春%孫雅洲%譚亞明
왕파%량영춘%손아주%담아명
微细铣削%惯性MEMS%弹性模量%残余应力
微細鐉削%慣性MEMS%彈性模量%殘餘應力
미세선삭%관성MEMS%탄성모량%잔여응력
将微细铣削技术应用到了带三维微结构的惯性MEMS器件的加工中.该类惯性MEMS器件由高弹性合金制作,特征尺寸在10μm～200μm,加工精度要求在±1 μm,而且对加工残余应力有较高要求.利用自行研制的三轴联动微小型精密铣床,在研究了微径铣刀的悬伸量、径向切深、每齿进给量等切削参数对切削力影响的基础上,提出了最佳切削参数,成功实现了该器件的加工,并采用微桥法对其弹性模量和残余应力进行了测量.
將微細鐉削技術應用到瞭帶三維微結構的慣性MEMS器件的加工中.該類慣性MEMS器件由高彈性閤金製作,特徵呎吋在10μm～200μm,加工精度要求在±1 μm,而且對加工殘餘應力有較高要求.利用自行研製的三軸聯動微小型精密鐉床,在研究瞭微徑鐉刀的懸伸量、徑嚮切深、每齒進給量等切削參數對切削力影響的基礎上,提齣瞭最佳切削參數,成功實現瞭該器件的加工,併採用微橋法對其彈性模量和殘餘應力進行瞭測量.
장미세선삭기술응용도료대삼유미결구적관성MEMS기건적가공중.해류관성MEMS기건유고탄성합금제작,특정척촌재10μm～200μm,가공정도요구재±1 μm,이차대가공잔여응력유교고요구.이용자행연제적삼축련동미소형정밀선상,재연구료미경선도적현신량、경향절심、매치진급량등절삭삼수대절삭력영향적기출상,제출료최가절삭삼수,성공실현료해기건적가공,병채용미교법대기탄성모량화잔여응력진행료측량.
